特許
J-GLOBAL ID：200903051510151142

圧電素子およびその製造方法

発明者：
秋山 守人

秋山 守人 について

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上野 直広

上野 直広 について

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立山 博

立山 博 について

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桑野 範之

桑野 範之 について


出願人/特許権者：
独立行政法人産業技術総合研究所

独立行政法人産業技術総合研究所 について


代理人 (1件)： 原 謙三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-013934
公開番号（公開出願番号）：特開2004-265899
出願日： 2003年01月22日
公開日（公表日）： 2004年09月24日
要約：
【課題】高い双極子配向度を有する窒化アルミニウムや酸化亜鉛からなる薄膜を用いた高性能の圧電素子を提供する。【解決手段】石英ガラス基板またはステンレス基板上に、下部電極を形成する。下部電極上に、スパッタリング法を用いて、双極子配向度が55%以上となるように薄膜状の窒化アルミニウムおよび/または酸化亜鉛を製膜することにより、圧電体薄膜を形成する。そして、圧電体薄膜上に上部電極を形成する。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
基板上に、第1電極層、圧電層、および第2電極層がこの順に積層された圧電素子であって、 上記圧電層は、窒化アルミニウムおよび/または酸化亜鉛からなり、その双極子配向度が55%以上であることを特徴とする圧電素子。
IPC (5件)：
H01L41/09 ,  H01L41/18 ,  H01L41/187 ,  H01L41/22 ,  H03H9/17
FI (6件)：
H01L41/08 C ,  H03H9/17 Z ,  H01L41/08 L ,  H01L41/18 101B ,  H01L41/18 101Z ,  H01L41/22 Z
Fターム (18件)：
2G064AA00 ,  2G064AB16 ,  2G064BA02 ,  2G064BA07 ,  2G064BA08 ,  2G064BB64 ,  2G064BD18 ,  5J108AA07 ,  5J108BB07 ,  5J108BB08 ,  5J108FF03 ,  5J108FF05 ,  5J108GG15 ,  5J108GG16 ,  5J108GG17 ,  5J108KK02 ,  5J108MM11 ,  5J108MM14
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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