特許
J-GLOBAL ID:200903051777217029

歪み測定方法及び装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 弁護士法人 衞藤法律特許事務所
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-172816
公開番号(公開出願番号):特開2005-351760
出願日: 2004年06月10日
公開日(公表日): 2005年12月22日
要約:
【課題】歪み検査の自動化が可能となり、熟練した検査者が不要となり、また、判定基準が定量化されるため、安定かつ公平な検査が可能となり、そして、従来困難とされた徐変曲面ミラー(複合曲率ミラー)の歪み検査が可能となる歪み測定方法及び装置を提供する。【解決手段】所定のソフトウェアを用いて、検査対象のミラー5の反射面(曲面5a)に、スクリーン4上に設けられた所定のドット12のパターンを反射させて得られる反射像実測データと、検査対象のミラー5の反射面5aを形成するために用いた設計値を基に演算して求めた所定のドットパターンの反射像理論データとを比較することにより検査対象の歪みを測定する。【選択図】 図2
請求項(抜粋):
検査対象の反射面に所定の模様を反射させて得られる反射像実測データと、 前記検査対象の反射面を形成するために用いた設計値を基に所定のソフトウェアを用いて演算して求めた前記所定模様の反射像理論データとを比較することにより前記検査対象の反射面の歪みを測定することを特徴とする歪み測定方法。
IPC (1件):
G01B11/16
FI (1件):
G01B11/16 H
Fターム (17件):
2F065AA65 ,  2F065BB05 ,  2F065BB25 ,  2F065CC21 ,  2F065DD06 ,  2F065FF41 ,  2F065HH07 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ26 ,  2F065PP13 ,  2F065QQ00 ,  2F065QQ17 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ27 ,  2F065QQ29 ,  2F065RR08
引用特許:
出願人引用 (1件) 審査官引用 (4件)
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