特許
J-GLOBAL ID：200903051809938858
多結晶MgO蒸着材及びその製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
須田 正義
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-110834
公開番号（公開出願番号）：特開平10-297956
出願日： 1997年04月28日
公開日（公表日）： 1998年11月10日
要約：
【要約】【課題】電子ビーム蒸着法にて蒸着しても、スプラッシュが殆ど発生せずかつ成膜されるMgO膜の厚さを略均一に形成できる。また電子ビーム蒸着法により成膜されたMgO膜を電気的特性や結晶性に優れた膜に形成できる。【解決手段】本発明の多結晶MgO蒸着材はMgO純度が99.0%以上かつ相対密度が90%以上の多結晶MgOの焼結体ペレットからなる。また多結晶MgOの焼結体ペレットの平均結晶粒径は1〜200μmである。更に多結晶MgOの焼結体ペレット中に含まれる、Al,Si,Ca及びFeの不純物がそれぞれ元素濃度で200ppm以下であり、Na及びKの不純物がそれぞれ元素濃度で30ppm以下であり、Cr及びVの不純物がそれぞれ元素濃度で10ppm以下である。
請求項（抜粋）：
MgO純度が99.0%以上かつ相対密度が90%以上の多結晶MgOの焼結体ペレットからなる多結晶MgO蒸着材。
IPC (3件)：
C04B 35/04
, C01F 5/02
, C23C 14/30
C04B 35/04 Z
, C01F 5/02
, C23C 14/30 A
