特許
J-GLOBAL ID：200903051919753942
振動子および物理量測定装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
細田 益稔
, 青木 純雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-064644
公開番号（公開出願番号）：特開2005-249746
出願日： 2004年03月08日
公開日（公表日）： 2005年09月15日
要約：
【課題】振動子の検出インピーダンスを低減し、検出感度を一層向上させることである。【解決手段】所定の検出軸Zに対応する物理量を測定するのに用いる振動子11Aを提供する。振動子11Aは、所定の駆動振動片4A、4B、4C、4D、検出軸Zに対応して振動する四個以上の検出振動片6C、6D、6E、6F、および駆動振動片4A、4B、4C、4Dと検出振動片6C、6D、6E、6Fとの間に介在する連結部2を備えている。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
所定の検出軸に対応する物理量を測定するのに用いる振動子であって、
駆動振動片、前記検出軸に対応して振動する四個以上の検出振動片および前記駆動振動片と前記検出振動片との間に介在する連結部を備えていることを特徴とする、振動子。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (5件)：
2F105BB02
, 2F105CC04
, 2F105CD02
, 2F105CD06
, 2F105CD13
出願人引用 (1件)
-
線幅測定方法及び装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平10-083891
出願人：株式会社ミツトヨ
審査官引用 (7件)
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