特許
J-GLOBAL ID：200903051922681464
電界放出型冷陰極とその製造方法および平面ディスプレイの製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岩佐 義幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-145900
公開番号（公開出願番号）：特開2000-340098
出願日： 1999年05月26日
公開日（公表日）： 2000年12月08日
要約：
【要約】【課題】 エミッタ形成の制御性を向上させるとともに、均一で安定な高放出電流を発生可能な電界放出型冷陰極と平面ディスプレイおよびそれらの製造方法を提供する。【解決手段】 導電層2が形成されたガラス基板1上に少なくとも絶縁層4の膜厚より短いナノチューブからなるエミッタ3を形成し、その上層に絶縁層4およびゲート電極5を積層し、ゲート電極5と絶縁層4の一部をエッチングしてゲート開口部を形成する。具体的には、絶縁層4が、絶縁耐圧Eb,膜厚dとし、印加電圧をVgとするとき、カーボンナノチューブの長さは、d-Vg/Ebより短く制御する。
請求項（抜粋）：
カーボンナノチューブからなるエミッタと、前記エミッタを取り囲むように配置された絶縁層と、ゲート電極とを備え、前記エミッタに対して電圧を印加して電子を放出させる電界放出型冷陰極において、前記カーボンナノチューブの長さが少なくとも前記絶縁層の膜厚よりも短いことを特徴とする電界放出型冷陰極。
IPC (4件)：
H01J 1/304
, H01J 9/02
, H01J 29/04
, H01J 31/12
H01J 1/30 F
, H01J 9/02 B
, H01J 29/04
, H01J 31/12 C
5C031DD09
, 5C031DD17
, 5C031DD19
, 5C036EE02
, 5C036EE14
, 5C036EF01
, 5C036EF06
, 5C036EF09
, 5C036EG12
, 5C036EH01
, 5C036EH08
, 5C036EH21
