高融点金属接合体およびイオン注入装置用イオンガン部品ならびにこれらの製造方法

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出願人/特許権者： ,
代理人 (2件)：小越勇 (外1名) , 小越勇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-162796
公開番号（公開出願番号）：特開平11-342479
出願日： 1998年05月28日
公開日（公表日）： 1999年12月14日
要約：

【要約】【課題】高融点金属の部品の加工に際し、製造コストが高く材料歩留りの悪い削り出しに替え、複数の高融点金属を短時間で拡散接合して結晶粒の粗大化および割れを防止するとともに強度が高く汚染の少ない高融点金属接合体を得る。【解決手段】 W、Mo、Taまたはこれらの合金からなる高融点金属の複数の部品を、W、Mo、Ta、Nbなどの粉末、薄板、ワイヤ状インサート材を介してあるいは介さずに接合部を重ね合わせ、真空中で30〜270MPaの圧力をかけながら1100°〜1800°Cにパルス通電加熱して、溶融点以下の温度で接合部を拡散接合し、強度が高く、均一かつ緻密な拡散接合部をもつ高融点金属接合体およびその製造方法に関する。

請求項（抜粋）：

パルス通電加熱加圧による拡散接合界面を備えていることを特徴とする高融点金属接合体。

IPC (5件)：

B23K 20/00 310 , B23K 20/00 , B23K 20/14 , H01J 27/08 , H05B 3/00 340

FI (6件)：

B23K 20/00 310 F , B23K 20/00 310 L , B23K 20/00 310 M , B23K 20/14 , H01J 27/08 , H05B 3/00 340

引用特許：

審査官引用 (6件)

モザイクターゲット及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-132430 出願人：株式会社ジャパンエナジー
モザイクターゲット及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-132429 出願人：株式会社ジャパンエナジー
抵抗拡散接合装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-281996 出願人：株式会社小松製作所

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