特許
J-GLOBAL ID：200903052059578478

ネガ型感放射線性樹脂組成物

発明者：
甲斐 敏之

甲斐 敏之 について

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王 勇

王 勇 について

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楠本 士朗

楠本 士朗 について

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大田 芳久

大田 芳久 について


出願人/特許権者：
ジェイエスアール株式会社

ジェイエスアール株式会社 について


代理人 (1件)： 岩見谷 周志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-367575
公開番号（公開出願番号）：特開2001-183832
出願日： 1999年12月24日
公開日（公表日）： 2001年07月06日
要約：
【要約】【課題】 通常濃度のアルカリ現像液を適用でき、かつ通常のライン・アンド・スペースパターンにおいて、高解像度で断面形状が矩形であるレジストパターンを形成することができ、感度、現像性、寸法忠実度等にも優れるネガ型感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 (A)ヒドロキシスチレン単位の含有率が65〜90モル%であるヒドロキシスチレン/スチレン共重合体およびヒドロキシスチレン単位の含有率が65〜90モル%であるヒドロキシスチレン/α-メチルスチレン共重合体から選ばれる少なくとも1種の共重合体を含有するアルカリ可溶性樹脂、(B)ヒドロキシル基含有オニウム塩化合物を含有する感放射線性酸発生剤、並びに(C)N-(アルコキシメチル)グリコールウリル化合物を含有する架橋剤を含有することを特徴とするネガ型感放射線性樹脂組成物。
請求項（抜粋）：
(A)ヒドロキシスチレン単位の含有率が65〜90モル%であるヒドロキシスチレン/スチレン共重合体およびヒドロキシスチレン単位の含有率が65〜90モル%であるヒドロキシスチレン/α-メチルスチレン共重合体から選ばれる少なくとも1種の共重合体を含有するアルカリ可溶性樹脂、(B)ヒドロキシル基含有オニウム塩化合物を含有する感放射線性酸発生剤、並びに(C)N-(アルコキシメチル)グリコールウリル化合物を含有する架橋剤を含有することを特徴とするネガ型感放射線性樹脂組成物。
IPC (4件)：
G03F 7/038 601 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 503 ,  H01L 21/027
FI (4件)：
G03F 7/038 601 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 503 A ,  H01L 21/30 502 R
Fターム (15件)：
2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA03 ,  2H025AA04 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC05 ,  2H025AD01 ,  2H025BE07 ,  2H025CB16 ,  2H025CB52 ,  2H025CC20 ,  2H025FA03 ,  2H025FA12 ,  2H025FA17
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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