特許
J-GLOBAL ID：200903052103529218
反射物体の高さプロファイル測定方法及びシステム
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
青木 篤
, 鶴田 準一
, 島田 哲郎
, 河野 努
, 下道 晶久
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-535969
公開番号（公開出願番号）：特表2008-516245
出願日： 2005年10月07日
公開日（公表日）： 2008年05月15日
要約：
本発明は、参照面に対する反射物体の高さプロファイルを測定する干渉方法及びシステムを提供する。本方法は、鏡面反射軸に沿って物体の画像を取得するステップを含む。その画像は投影軸に沿って物体に投影された強度パターンに対応し、鏡面反射軸は、強度パターンの一部分が物体で鏡面反射される方向に対応する。そして本方法は、その画像を用いて物体の位相を算出するステップと、その物体の位相及び参照面に関する参照位相を用いて高さプロファイルを求めるステップを含む。
請求項（抜粋）：
参照面に対して物体の高さプロファイルを求める干渉方法であって、
投影軸に沿って前記物体上に投影された強度パターンに対応する前記物体の画像を、前記強度パターンの一部が前記物体により鏡面反射される方向に対応する鏡面反射軸に沿って取得するステップと、
前記画像を用いて物体の位相を算出するステップと、
前記物体の位相と前記参照面に関する参照位相を用いて、前記高さプロファイルを求めるステップと、
を含むことを特徴とする方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (13件)：
2F065AA24
, 2F065AA59
, 2F065FF04
, 2F065FF51
, 2F065GG21
, 2F065HH07
, 2F065HH12
, 2F065JJ08
, 2F065JJ19
, 2F065JJ26
, 2F065QQ16
, 2F065QQ24
, 2F065QQ31
