特許
J-GLOBAL ID：200903052200495310
オゾン水の濃度調整方法、オゾン水供給系及びオゾン水のサンプリング方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
内山 充
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-355841
公開番号（公開出願番号）：特開2000-180433
出願日： 1998年12月15日
公開日（公表日）： 2000年06月30日
要約：
【要約】【課題】電子材料などのウェット洗浄工程において、オゾン水を使用箇所に供給するに際して、使用箇所に所要の濃度のオゾン水を容易に供給することができるオゾン水の濃度調整方法及びオゾン水供給系並びにオゾンによる酸化の影響を受けることなくオゾン水の水質を分析することができるオゾン水のサンプリング方法を提供する。【解決手段】過剰にオゾンを溶解させたオゾン水の濃度調整方法であって、オゾンの分解を促進することを特徴とするオゾン水の濃度調整方法、オゾン水製造装置、オゾン水の通水配管及びオゾンの分解促進装置を有することを特徴とするオゾン水供給系、並びに、オゾンの分解を促進する手段によりオゾン水中のオゾンを完全に分解したのち、水質分析用の試料水を採取することを特徴とするオゾン水のサンプリング方法。
請求項（抜粋）：
過剰にオゾンを溶解させたオゾン水の濃度調整方法であって、オゾンの分解を促進してオゾン水の濃度を調整することを特徴とするオゾン水の濃度調整方法。
IPC (6件)：
G01N 33/18
, C01B 13/10
, C02F 1/20
, C02F 1/32
, C02F 1/36
, C02F 1/78
G01N 33/18 Z
, C01B 13/10 D
, C02F 1/20 A
, C02F 1/32
, C02F 1/36
, C02F 1/78
4D037AA01
, 4D037AB11
, 4D037BA18
, 4D037BA23
, 4D037BA26
, 4D037BB01
, 4D037BB08
, 4D037BB09
, 4D050AA20
, 4D050AB32
, 4D050BA04
, 4D050BA08
, 4D050BA12
, 4D050BC01
, 4D050BC09
, 4D050BC10
, 4D050BD03
, 4D050BD08
, 4G042CA01
, 4G042CE01
