特許
J-GLOBAL ID:200903052280083904

光偏向器および光学装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 西脇 民雄
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2008-062011
公開番号(公開出願番号):特開2008-257226
出願日: 2008年03月12日
公開日(公表日): 2008年10月23日
要約:
【課題】大きな偏向角および大振幅動作が得られ、また、小型化、薄型化、および軽量化を図ることができる光偏向器を提供すること。【解決手段】反射板1を弾性支持部2a,2bを中心に回転振動させる圧電ユニモルフ振動体210a〜210dを備えた光偏向器であって、圧電ユニモルフ振動体210a〜210dの振動板23a〜23dの両端の一方を弾性支持部2a,2bに接続するとともに、両端のもう一方を支持体9に接続し、振動板23a〜23d、反射板1、弾性支持部2a,2b、支持体9を一体に形成し、圧電ユニモルフ振動体210a〜210dが、それぞれ複数の並列振動板23a-1〜3,23b-1〜3,23c-1〜3,23d-1〜3および並列アクチュエータ28a-1〜3,28b-1〜3,28c-1〜3,28d-1〜3を備えていることを特徴とする光偏向器とした。【選択図】図1
請求項(抜粋):
光を反射可能な可動板と、 一端が前記可動板に固定され、他端が支持体に固定され、前記可動板を回転振動可能に軸支する一対のトーションバーと、 振動板およびこの振動板を駆動させる圧電アクチュエータを備え、前記可動板を回転振動させる圧電ユニモルフ振動体と、 を備え、 前記振動板が、両端の一方をトーションバーに接続され、両端のもう一方を前記支持体に接続され、 前記振動板、可動板、トーションバー、支持体が一体に形成されており、 前記圧電ユニモルフ振動体が、それぞれ、複数の前記振動板および圧電アクチュエータを備えていることを特徴とする光偏向器。
IPC (5件):
G02B 26/08 ,  G02B 26/10 ,  H04N 1/036 ,  B81B 3/00 ,  H02N 2/00
FI (5件):
G02B26/08 E ,  G02B26/10 104 ,  H04N1/036 Z ,  B81B3/00 ,  H02N2/00 B
Fターム (38件):
2H045AB01 ,  2H045AB02 ,  2H045AB06 ,  2H045AB81 ,  2H141MA12 ,  2H141MB24 ,  2H141MC09 ,  2H141MD12 ,  2H141MD20 ,  2H141MD24 ,  2H141MF01 ,  2H141MF10 ,  2H141MF28 ,  2H141MG03 ,  2H141MG05 ,  2H141MG06 ,  2H141MG07 ,  2H141MG08 ,  2H141MZ11 ,  3C081AA11 ,  3C081AA13 ,  3C081BA28 ,  3C081BA44 ,  3C081BA46 ,  3C081BA47 ,  3C081BA55 ,  3C081CA27 ,  3C081DA21 ,  3C081EA08 ,  5C051AA02 ,  5C051CA07 ,  5C051DB02 ,  5C051DB24 ,  5C051DB30 ,  5C051DC02 ,  5C051DC04 ,  5C051DC05 ,  5C051DC07
引用特許:
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (2件)

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