特許
J-GLOBAL ID:200903052280083904
光偏向器および光学装置
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (1件):
西脇 民雄
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2008-062011
公開番号(公開出願番号):特開2008-257226
出願日: 2008年03月12日
公開日(公表日): 2008年10月23日
要約:
【課題】大きな偏向角および大振幅動作が得られ、また、小型化、薄型化、および軽量化を図ることができる光偏向器を提供すること。【解決手段】反射板1を弾性支持部2a,2bを中心に回転振動させる圧電ユニモルフ振動体210a〜210dを備えた光偏向器であって、圧電ユニモルフ振動体210a〜210dの振動板23a〜23dの両端の一方を弾性支持部2a,2bに接続するとともに、両端のもう一方を支持体9に接続し、振動板23a〜23d、反射板1、弾性支持部2a,2b、支持体9を一体に形成し、圧電ユニモルフ振動体210a〜210dが、それぞれ複数の並列振動板23a-1〜3,23b-1〜3,23c-1〜3,23d-1〜3および並列アクチュエータ28a-1〜3,28b-1〜3,28c-1〜3,28d-1〜3を備えていることを特徴とする光偏向器とした。【選択図】図1
請求項(抜粋):
光を反射可能な可動板と、
一端が前記可動板に固定され、他端が支持体に固定され、前記可動板を回転振動可能に軸支する一対のトーションバーと、
振動板およびこの振動板を駆動させる圧電アクチュエータを備え、前記可動板を回転振動させる圧電ユニモルフ振動体と、
を備え、
前記振動板が、両端の一方をトーションバーに接続され、両端のもう一方を前記支持体に接続され、
前記振動板、可動板、トーションバー、支持体が一体に形成されており、
前記圧電ユニモルフ振動体が、それぞれ、複数の前記振動板および圧電アクチュエータを備えていることを特徴とする光偏向器。
IPC (5件):
G02B 26/08
, G02B 26/10
, H04N 1/036
, B81B 3/00
, H02N 2/00
FI (5件):
G02B26/08 E
, G02B26/10 104
, H04N1/036 Z
, B81B3/00
, H02N2/00 B
Fターム (38件):
2H045AB01
, 2H045AB02
, 2H045AB06
, 2H045AB81
, 2H141MA12
, 2H141MB24
, 2H141MC09
, 2H141MD12
, 2H141MD20
, 2H141MD24
, 2H141MF01
, 2H141MF10
, 2H141MF28
, 2H141MG03
, 2H141MG05
, 2H141MG06
, 2H141MG07
, 2H141MG08
, 2H141MZ11
, 3C081AA11
, 3C081AA13
, 3C081BA28
, 3C081BA44
, 3C081BA46
, 3C081BA47
, 3C081BA55
, 3C081CA27
, 3C081DA21
, 3C081EA08
, 5C051AA02
, 5C051CA07
, 5C051DB02
, 5C051DB24
, 5C051DB30
, 5C051DC02
, 5C051DC04
, 5C051DC05
, 5C051DC07
引用特許:
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (2件)
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