圧電体薄膜素子及びインクジェット式記録ヘッド

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：稲葉良幸 , 田中克郎 , 大賀眞司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-325470
公開番号（公開出願番号）：特開2008-147682
出願日： 2007年12月18日
公開日（公表日）： 2008年06月26日
要約：

【課題】圧電体薄膜の各部に要求される動きに応じた特性をそれぞれ持たせることにより、低電圧でも、圧電体薄膜の機能を十分に発揮することのできる圧電体薄膜素子およびその製造方法を提供する。【解決手段】膜厚方向の所定位置より上部電極側432における膜厚方向の電気抵抗率r2に対し、前記所定位置より下部電極側431における膜厚方向の電気抵抗率r1の方を、高くする。また、膜厚方向の所定位置より上部電極側432の誘電率ε2に対し、前記所定位置より下部電極側431の誘電率ε1の方を、低くする。【選択図】図6

請求項（抜粋）：

下部電極と、該下部電極上に設けられた圧電体薄膜と、該圧電体薄膜上に設けられた上部電極と、を備える圧電体薄膜素子であって、前記圧電体薄膜は、膜厚方向の所定位置より上部電極側における膜厚方向の電気抵抗率に対し、前記所定位置より下部電極側における膜厚方向の電気抵抗率の方が、高いことを特徴とする圧電体薄膜素子。

IPC (8件)：

H01L 41/09 , C23C 14/34 , C23C 16/40 , H01L 41/187 , H01L 41/18 , H01L 41/22 , B41J 2/045 , B41J 2/055

FI (7件)：

H01L41/08 J , C23C14/34 S , C23C16/40 , H01L41/18 101D , H01L41/18 101Z , H01L41/22 Z , B41J3/04 103A

Fターム (24件)：

2C057AF55 , 2C057AF93 , 2C057AG44 , 2C057AG48 , 2C057BA04 , 2C057BA14 , 4K029AA06 , 4K029BA50 , 4K029CA05 , 4K029DC05 , 4K029DC16 , 4K029DC35 , 4K030AA11 , 4K030AA14 , 4K030AA20 , 4K030BA01 , 4K030BA18 , 4K030BA22 , 4K030BA42 , 4K030CA04 , 4K030FA10 , 4K030HA01 , 4K030JA06 , 4K030LA01

引用特許：

審査官引用 (5件)

圧電素子及びその製造方法並びにそれを用いたインクジェットヘッド及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-107884 出願人：松下電器産業株式会社
強誘電体薄膜素子およびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-237033 出願人：株式会社村田製作所
特開平4-308607

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