特許
J-GLOBAL ID：200903052649038053
光スイッチング素子の製造方法、および光スイッチング素子
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
上柳 雅誉
, 藤綱 英吉
, 須澤 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-271475
公開番号（公開出願番号）：特開2004-109446
出願日： 2002年09月18日
公開日（公表日）： 2004年04月08日
要約：
【課題】光の利用効率が高く、コントラストのさらに大きな光スイッチング素子およびデバイスを提供する。【解決手段】アクチュエータ40の偏向エレメント41によりマイクロミラー30の角度を変えて入射光をスイッチングする光スイッチング素子20であって、マイクロミラー30と偏向エレメント41とを複数の支柱36により接続し、それらの支柱36を、マイクロミラー30を製膜する工程で同時に形成する。そして、複数の支柱36を設けることにより、マイクロミラー30の表面31に形成される凹み32を少なくすることが可能となり、反射面積の大きな光スイッチング素子20を提供できる。さらに、個々の凹み32が浅くなるので光の回折による光量の損失やコントラストの低下も防止できる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
光を反射する第1のエレメントと、前記第1のエレメントを駆動する第2のエレメントとを有する光スイッチング素子の製造方法であって、
前記第1のエレメントを製膜により形成する製膜工程を有し、
この製膜工程において、前記第1のエレメントと第2のエレメントとを連結するための複数の支柱を形成する光スイッチング素子の製造方法。
IPC (5件)：
G02B26/08
, B81B3/00
, B81C1/00
, G02B5/08
, G02B27/18
G02B26/08 E
, B81B3/00
, B81C1/00
, G02B5/08 A
, G02B5/08 C
, G02B27/18 Z
2H041AA14
, 2H041AA16
, 2H041AB14
, 2H041AC06
, 2H041AZ01
, 2H041AZ08
, 2H042DA02
, 2H042DA12
, 2H042DA20
, 2H042DA22
, 2H042DB00
, 2H042DC02
, 2H042DC08
, 2H042DD01
, 2H042DE00
