ウェーハプロービング装置及びこれを用いたウェーハ検査用ニードル校正方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：萩原誠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-222090
公開番号（公開出願番号）：特開2001-068516
出願日： 2000年07月24日
公開日（公表日）： 2001年03月16日
要約：

【要約】【課題】多数本のウェーハ検査用ニードルに個別的に接触でき、ウェーハ検査用ニードルに印加される信号を正確に校正できるウェーハプロービング装置及びこれを用いたウェーハ検査用ニードル校正方法を提供すること。【解決手段】多数本のニードルが設けられたプローブカードが装着されるウェーハプロービング装置において、支持部と、この支持部上に装着されたウェーハチャックと、多数本のニードル中の一つと接触し、信号線と前記多数本のニードルの位置を決定する位置手段を具備するニードルチャックと、前記多数本のニードルの位置に従って前記支持部を水平に移動させる手段と、前記支持部に結合され、前記ニードルチャックを垂直に移動させる移動手段とを具備する。

請求項（抜粋）：

多数本のニードルが設けられたプローブカードが装着されるウェーハプロービング装置において、支持部と、この支持部上に装着されたウェーハチャックと、多数本のニードル中の一つと接触し、信号線と前記多数本のニードルの位置を決定する位置手段を具備するニードルチャックと、前記多数本のニードルの位置に従って前記支持部を水平に移動させる手段と、前記支持部に結合され、前記ニードルチャックを垂直に移動させる移動手段とを具備することを特徴とするウェーハプロービング装置。

IPC (4件)：

H01L 21/66 , G01R 1/06 , G01R 31/26 , G01R 31/28

FI (4件)：

H01L 21/66 B , G01R 1/06 E , G01R 31/26 J , G01R 31/28 K

引用特許：

出願人引用 (4件)

プローブカード検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-320632 出願人：株式会社東京カソード研究所
プローブ方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-104614 出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン山梨株式会社
検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-024688 出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン山梨株式会社

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審査官引用 (2件)

プローブ測定ネットワーク評価用システム
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-083659 出願人：カスケードマイクロテックインコーポレイテッド
プローブ方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-104614 出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン山梨株式会社

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