レーザ加工装置及びレーザ加工工法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：岩橋文雄 , 坂口智康 , 内藤浩樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-327782
公開番号（公開出願番号）：特開2005-088068
出願日： 2003年09月19日
公開日（公表日）： 2005年04月07日
要約：

【課題】レーザ加工時に発生する被加工物からの飛散物により、被加工物の信頼性、歩留まりが低下を防止する。【解決手段】被加工物からレーザ光により加熱蒸散されたプルームは、レーザ光入射方向に飛散するが、環状ノズル11の環状ノズル内ポート14側からの供給ガス流16により、方向を変えられ、環状ノズル11の環状ノズル外ポート15から排気ガス流17によって吸引されることにより、被加工物A12にプルームが付着することを防止する。また、環状ノズル11の内側を流れる供給ガス流16により、被加工物Aからの飛散物が集光レンズAに到達し付着することによって生じるレンズ特性の劣化を同時に防止することにより、安定な加工を実現出来るレーザ加工装置を提供することが出来る。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

レーザ光を発生するレーザ発振器と、前記レーザ光を被加工物に集光するレンズと、前記レンズと被加工物の間に配置したノズルを備え、前記ノズルに高圧ガスを噴射する噴射部と、ガスを吸引する吸引部を設けたレーザ加工装置。

IPC (4件)：

B23K26/14 , B23K26/06 , B23K26/16 , H01L21/301

FI (4件)：

B23K26/14 A , B23K26/06 A , B23K26/16 , H01L21/78 B

Fターム (11件)：

4E068AD01 , 4E068AE01 , 4E068CA03 , 4E068CA04 , 4E068CB01 , 4E068CF01 , 4E068CF03 , 4E068CG01 , 4E068CG02 , 4E068CH07 , 4E068DA10

引用特許：

出願人引用 (2件)

特開平01-196850号公報
レーザ加工方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-277163 出願人：浜松ホトニクス株式会社

審査官引用 (9件)

レーザ加工ヘッド、レーザ加工装置及びレーザ加工方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-002160 出願人：住友重機械工業株式会社
レーザ修正方法および装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-250900 出願人：日本電気株式会社
特開昭59-163093

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