走査電子顕微鏡における電子ビーム走査軸とステージ移動軸のずれ及びステージの移動誤差の測定方法及び補正方法。

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出願人/特許権者： ,
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-340570
公開番号（公開出願番号）：特開2001-155674
出願日： 1999年11月30日
公開日（公表日）： 2001年06月08日
要約：

【要約】【課題】走査電子顕微鏡の電子ビーム走査軸とステージ移動軸のずれを測定する【解決手段】ステージ移動前後に得られた画像データに基づいて、画像ズレ量演算回路17は2枚の画像のX軸方向及びY方向のズレを求め、移動ズレ演算回路18はステージ移動量のズレを求め、回転ズレ量演算回路19はステージのX,Y軸と電子ビーム走査のX,Y軸の回転方向のズレを求める。

請求項（抜粋）：

試料ステージ上の試料に細く絞った電子線を照射すると共に該電子線を試料上で二次元的に走査して第1の画像を取得する工程と、試料ステージをX軸またはY軸方向に試料上での走査範囲の幅よりも小さな所定距離移動させた後電子線走査により第2の画像を取得する工程と、第1の画像と第2の画像をパターンを一致させて重ね合わせる工程と、重ね合わせた際の2つの画像のY軸方向のずれまたはX軸方向のずれに基づいて試料ステージの移動軸と電子ビームの走査軸との間の傾きを求める工程とから成ることを特徴とする走査電子顕微鏡における電子ビーム走査軸とステージ移動軸のずれの測定方法。

IPC (2件)：

H01J 37/22 502 , H01J 37/22

FI (2件)：

H01J 37/22 502 H , H01J 37/22 502 B

引用特許：

審査官引用 (9件)

特開昭59-083335
特開昭63-228556
メモリアレーを用いた並列演算装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-290468 出願人：株式会社日立製作所

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