特許
J-GLOBAL ID：200903053482360990
ノズルプレートの製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
増田 達哉
, 朝比 一夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-170024
公開番号（公開出願番号）：特開2005-349592
出願日： 2004年06月08日
公開日（公表日）： 2005年12月22日
要約：
【課題】製造時におけるノズルプレートの割れを防止しつつ、ノズルプレートの薄型化を図ることができるノズルプレートの製造方法を提供すること。【解決手段】液滴を吐出するためのノズル孔を有するノズルプレートの製造方法であって、シリコン基板10の一方の面に、シリコン基板10を支持するための支持基板50を接合して、シリコン基板10を支持基板50により支持した状態で、シリコン基板10の他方の面からエッチングを施して、ノズル孔22を形成するノズル孔形成工程を有する。【選択図】 図9
請求項（抜粋）：
液滴を吐出するためのノズル孔を有するノズルプレートの製造方法であって、
シリコンを主材料として構成された加工基板の一方の面に、前記加工基板を支持するための支持基板を接合して、前記加工基板を前記支持基板により支持した状態で、前記加工基板の他方の面からエッチングを施して、前記ノズル孔を形成するノズル孔形成工程を有することを特徴とするノズルプレートの製造方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (14件)：
2C057AF93
, 2C057AG12
, 2C057AP13
, 2C057AP22
, 2C057AP24
, 2C057AP32
, 2C057AP34
, 2C057AP35
, 2C057AP52
, 2C057AP53
, 2C057AP54
, 2C057AQ02
, 2C057BA04
, 2C057BA15
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (5件)
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