特許

J-GLOBAL ID：200903053579897068

シルセスキオキサン系絶縁材料

発明者： 松川 公洋 ,  濱田 崇 ,  渡辺 充 ,  東 賢一 ,  中村 秀 ,  日下 康成
出願人/特許権者： 大阪市 ,  独立行政法人科学技術振興機構 ,  積水化学工業株式会社
代理人 (2件)： 宮▲崎▼主税 ,  目次 誠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-227644
公開番号（公開出願番号）：特開2009-059651
出願日： 2007年09月03日
公開日（公表日）： 2009年03月19日
要約：

【課題】高い誘電率の絶縁膜を形成することができ、しかも表面平滑性が損なわれがたい、シルセスキオキサン系絶縁材料を提供する。【解決手段】下記の式(1)で示す構造を有するポリシルセスキオキサンを含むことを特徴とする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

下記の式(1)で示す構造を有するポリシルセスキオキサンを含むことを特徴とする、シルセスキオキサン系絶縁材料。

IPC (4件)：

H01B 3/46 ,  H01L 21/312 ,  C08G 77/18 ,  C09D 183/00

FI (4件)：

H01B3/46 C ,  H01L21/312 C ,  C08G77/18 ,  C09D183/00

Fターム (56件)：

4J038DL001 ,  4J038DL131 ,  4J038GA07 ,  4J038GA13 ,  4J038MA07 ,  4J038NA21 ,  4J038PB09 ,  4J038PC02 ,  4J246AA03 ,  4J246AB01 ,  4J246BA12X ,  4J246BA120 ,  4J246BB02X ,  4J246BB020 ,  4J246BB022 ,  4J246CA14U ,  4J246CA14X ,  4J246CA140 ,  4J246CA24X ,  4J246CA240 ,  4J246CA26X ,  4J246CA260 ,  4J246CA40X ,  4J246CA400 ,  4J246CA42X ,  4J246CA420 ,  4J246CA56X ,  4J246CA560 ,  4J246CA68X ,  4J246CA680 ,  4J246CA78X ,  4J246CA780 ,  4J246CA83X ,  4J246CA830 ,  4J246FA071 ,  4J246FA131 ,  4J246FA431 ,  4J246FB081 ,  4J246GA01 ,  4J246GA02 ,  4J246GB04 ,  4J246GC52 ,  4J246GD08 ,  4J246HA63 ,  5F058AC03 ,  5F058AD05 ,  5F058AF04 ,  5F058AH01 ,  5G305AA07 ,  5G305AA11 ,  5G305AB09 ,  5G305AB36 ,  5G305BA04 ,  5G305CA26 ,  5G305CD12 ,  5G305DA22

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 絶縁膜、絶縁膜の形成方法、半導体素子、電子デバイスおよび電子機器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-028205   出願人：セイコーエプソン株式会社

審査官引用 (4件)

• エポキシ基含有ケイ素化合物及び組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-205039   出願人：日本化薬株式会社
• エポキシ基を有するケイ素化合物、その製造方法及び熱硬化性樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-046904   出願人：日本化薬株式会社
• 膜形成用組成物および絶縁膜形成用材料
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-118950   出願人：ジェイエスアール株式会社
• カチオン性官能基含有ポリシロキサン樹脂組成物、それを用いた塗料組成物およびカチオン性官能基含有ポリシロキサン樹脂組成物の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-248032   出願人：株式会社シミズ