金属材料表面の欠陥原因判定方法および装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：矢葺知之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-211167
公開番号（公開出願番号）：特開平11-101746
出願日： 1998年07月27日
公開日（公表日）： 1999年04月13日
要約：

【要約】【課題】この発明は金属材料表面の欠陥発生原因を確実かつ迅速に判定する方法と、その装置を提供する。【解決手段】金属材料S表面の欠陥部Fにパルスレーザー光PLの照射位置を固定し、パルスレーザー光PLを前記照射位置に照射し、照射部より発生する発光光を分光分析して得られた発光スペクトルと、正常部にパルスレーザー光PLを照射し、照射部より発生する発光光を分光分析して得られた発光スペクトルとを比較することにより、欠陥部Fと正常部に存在する元素およびその発光強度の差から、欠陥部を生じさせた原因を判定する。パルスレーザー光PLを繰り返し照射することにより、金属材料Sの内部まで掘削できる。そのため、表面まで達していない異質部分により欠陥が発生した場合でも、見落とすことなく原因を判定できる。また、切断研磨のような前処理なしに分析できるので、欠陥判定作業を迅速化ができる。

請求項（抜粋）：

金属材料表面の欠陥部にパルスレーザー光の照射位置を固定し、パルスレーザー光を前記照射位置に照射し、照射部より発生する発光光を分光分析して得られた発光スペクトルと、正常部にパルスレーザー光を照射し、照射部より発生する発光光を分光分析して得られた発光スペクトルとを比較することにより、欠陥部と正常部に存在する元素およびその発光強度の差から、欠陥部を生じさせた原因を判定することを特徴とする金属材料表面の欠陥原因判定方法。

引用特許：

審査官引用 (7件)

特許第2697462号
鋼材表面の異常原因判定分析方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-309975 出願人：日本鋼管株式会社
特開昭57-100323

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