特許
J-GLOBAL ID：200903053843647385
マイクロレンズ作成用モールド製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
柳田 征史 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-059117
公開番号（公開出願番号）：特開平8-257651
出願日： 1996年03月15日
公開日（公表日）： 1996年10月08日
要約：
【要約】【課題】 マイクロレンズアレイを成形する際に用いられるモールドの製造において、マイクロレンズの球面を改善する。【解決手段】 基板をエッチングする際の化学組成物に対して耐性のある材料で形成されたマスク(4i )が基板上に形成される。そのマスクが、所望のセルの一つに各々が中心をおく全体として多角形の網目状の格子の形状を有する。マスクの各々のセルの側部には、所望のセルの中心に向かって拡がる拡張部(5j)を有する。前記基板をエッチング溶液に接触させてエッチングを行う。
請求項（抜粋）：
マイクロレンズアレイ作成用モールドの製造方法において、マイクロレンズを成形するために適した所望のモールドセルアレイを形成するように基板上の領域を選択的にエッチングする工程からなることを特徴とするマイクロレンズアレイ作成用モールド製造方法。
引用特許：
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