強誘電性材料の極性調整方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：小栗昌平 , 本多弘徳 , 市川利光 , 高松猛 , 濱田百合子
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-512213
公開番号（公開出願番号）：特表2006-500761
出願日： 2003年06月06日
公開日（公表日）： 2006年01月05日
要約：

噴射装置用アクチュエータでの使用に好適な型式の強誘電性サンプル(14)を極性調整する方法は、第1と第2の対向する端面(23)と、第1と第2の対向する側面(21)と、および強誘電性層(16)の積重ねとを有する強誘電性材料のサンプルであって、隣接する層が、サンプル(14)の端面(23)へほぼ平行に配置される内部電極(18a、18b)により互いに離間される強誘電性材料のサンプルを用意するステップと、一次外部電極装置(24a、24b)をサンプル(14)の第1と第2の端面(23)へ取付けるステップとから成る。第1の分極化の方向に、単一で第1の分極化軸に沿って強誘電性サンプル(14)の全体をほぼ分極化するように、一次極性調整電圧が一次外部電極装置(24a、24b)へ印加される。二次外部電極装置(30a、30b)がサンプル(14)の側面(21)へ取付けられ、および二次極性調整電圧が二次外部電極装置(30a、30b)へ印加されて、反対極性の内部電極間に位置するサンプルの領域内の強誘電性層(16)の交互の層を分極化する。強誘電性層の交互の層は、第1の分極化方向に第1の分極化軸にほぼ沿って分極化され、また強誘電性層の他の層は、第2の反対方向の分極化軸に沿って分極化される。この方法は、サンプル(14)の全体を通して、特に側面(21)に隣接する領域を通して強誘電性ひずみの不連続性をほぼ避けながら、全体サンプルをほぼ分極化する方法を提供する。

請求項（抜粋）：

噴射装置用アクチュエータでの使用に好適な型式の強誘電性サンプル(14)を極性調整する方法であって、第1と第2の対向する端面(23)と、第1と第2の対向する側面(21)と、強誘電性層(16)の積重ねとを有する強誘電性材料のサンプルであって、隣接する層(16)は、サンプル(14)の端面(23)へほぼ平行に配置される内部電極(18a、18b)により互いに離間される強誘電性材料のサンプルを用意するステップと、一次外部電極装置を前記サンプルの第1と第2の端面(23)へ取付けるステップと、第1の分極化の方向に、単一で第1の分極化軸に沿って前記強誘電性サンプル(14)の全体をほぼ分極化するように、一次極性調整電圧を一次外部電極装置へ印加するステップと、二次外部電極装置を前記サンプル(14)の側面へ取付けるステップと、第1の分極化の方向に、第1の分極化軸にほぼ沿って前記強誘電性層(16)の交互の層を分極化するように、かつ第2の反対方向の分極化軸に沿って前記強誘電性層(16)の他の層が分極化されるように、二次極性調整電圧を二次外部電極装置へ印加するステップと、ほぼ全体のサンプル(14)を分極化し、サンプル(14)全体を通して強誘電性ひずみの不連続性を避けるステップとを含む極性調整する方法。

IPC (6件)：

H01L 41/22 , F02M 51/00 , F02M 51/06 , H02N 2/00 , H01L 41/083 , H01L 41/187

FI (6件)：

H01L41/22 B , F02M51/00 E , F02M51/06 N , H02N2/00 B , H01L41/08 Q , H01L41/18 101D

Fターム (5件)：

3G066BA51 , 3G066BA53 , 3G066CC01 , 3G066CC05U , 3G066CE27

引用特許：

審査官引用 (6件)

圧電体の分極方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-052743 出願人：株式会社村田製作所
特開昭60-066882
積層圧電素子及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-306618 出願人：住友金属工業株式会社, 株式会社住友金属エレクトロデバイス

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