圧電式アクチュエータの製造方法および圧電式アクチュエータ

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：矢野敏雄 (外3名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-534369
公開番号（公開出願番号）：特表2001-513269
出願日： 1998年10月30日
公開日（公表日）： 2001年08月28日
要約：

【要約】本発明は、複数の圧電アクチュエータを並行に製造するための方法並びに相応の圧電アクチュエータに関する。本発明によれば、圧電セラミック材料から成る複数の薄いフィルム(1〜3)が上下にスタックされる。フィルム(1〜3)の表面(4)に、それぞれのアクチュエータに対して電極(5〜10)が設けられている。電極(5〜10)のコンタクト形成のために、第1の接続孔(11〜16)および第2の接続孔(17〜22)が設けられている。電極(5〜10)は空所(23〜28)を有しており、これら空所は第1の接続孔(11〜16)または第2の接続孔(17〜22)を取り囲んでいる。接続孔(11〜22)には導電性のペースト(53)が供給される。スタックされた構成体は焼成されかつ個々のアクチュエータに分割される。電極は内部電極として周囲とはアイソレーションされている。

請求項（抜粋）：

複数の圧電アクチュエータを並列に製造するための方法において、未焼の、圧電セラミック材料から成る薄いフィルム(1〜3)を製造し、前記フィルム(1〜3)を貫通する第1のおよび第2の接続孔(11〜16,17〜22)を形成し、その際それぞれのアクチュエータにそれぞれ1つの第1の接続孔(11〜16)および第2の接続孔(17〜22)が配属されており、前記フィルム(1〜3)の表面にそれぞれ複数の電極(5〜10)を成膜し、その際それぞれのフィルム(1〜3)における各アクチュエータに少なくとも1つの電極(5〜10)が配属されており、ここで、前記接続孔(11〜16,17〜22)は前記フィルム(1〜3)を前記電極(5〜10)の領域において貫通しておりかつ該電極(5〜10)はそれぞれ、第1の接続孔(11〜16)または第2の接続孔(17〜22)を取り囲んでいる空所(23〜28)を有しており、前記フィルム(1〜3)を多数個上下にスタックして、前記第1および第2の接続孔(11〜16,17〜22)がこのようにして生じるスタックされた構成体において上下に配置されているようにし、ここで、前記フィルム(1〜3)の層列は次のように選択されている、即ち前記上下に配置された接続孔(11〜16,17〜22)が交番的に1つおきのフィルム層(1,3)においてだけ前記電極(5〜10)の空所(23〜28)によって取り囲まれており、その結果前記電極(5〜10)が交番的に前記第1の接続孔(11〜16)または前記第2の接続孔(17〜22)に接続されるようにであり、前記接続孔(11〜16,17〜22)に導電性のペースト(53)を供給し、前記スタックされた構成体を焼成し、かつ前記スタックされた構成体を個別アクチュエータに分離する方法。

IPC (2件)：

H01L 41/083 , F02M 51/06

FI (2件)：

F02M 51/06 N , H01L 41/08 Q

引用特許：

出願人引用 (8件)

多層電子素子製造方法
公報種別：公表公報出願番号：特願平9-504271 出願人：フィリップスエレクトロニクスネムローゼフェンノートシャップ
特開昭58-196073
特開昭62-199075

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審査官引用 (8件)

多層電子素子製造方法
公報種別：公表公報出願番号：特願平9-504271 出願人：フィリップスエレクトロニクスネムローゼフェンノートシャップ
特開昭58-196073
特開昭62-199075

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