特許
J-GLOBAL ID：200903053972841708
静電容量式センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
三好 秀和
, 中村 友之
, 伊藤 正和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-126450
公開番号（公開出願番号）：特開2007-298385
出願日： 2006年04月28日
公開日（公表日）： 2007年11月15日
要約：
【課題】固定電極と可動電極との厚み方向の相対的なずれに応じて検出部の静電容量が変化する静電容量式センサにおいて、検出精度を向上する。【解決手段】半導体層2に、固定電極6A,6Bと、アンカ部3にビーム部4を介して可動支持される可動電極5と、が設けられるとともに、固定電極6A,6Bと可動電極5とを間隙をもって相互に対向配置させて検出部8A,8Bが構成され、当該検出部8A,8Bでの静電容量を検出することで所定の物理量を検出する静電容量式センサ1において、検出部8A,8Bが、可動電極5の動作による当該可動電極5と固定電極6A,6Bとの厚み方向へずれに伴う相互対向面積の変化に応じた静電容量を検出するようにした。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
半導体層に形成された固定電極と、半導体層に形成され当該半導体層の固定部分にビームを介して可動支持される可動電極と、を備えるとともに、当該固定電極と可動電極とを間隙をもって相互に対向配置させて検出部が構成され、当該検出部での静電容量を検出することで所定の物理量を検出する静電容量式センサであって、
前記検出部は、可動電極の動作による当該可動電極と固定電極との厚み方向へずれに伴う相互対向面積の変化に応じた静電容量を検出することを特徴とする静電容量式センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01P15/125 Z
, H01L29/84 Z
4M112AA02
, 4M112BA07
, 4M112CA21
, 4M112CA24
, 4M112CA31
, 4M112DA03
, 4M112EA13
, 4M112FA20
出願人引用 (1件)
審査官引用 (6件)
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