特許
J-GLOBAL ID：200903053992289211
感光性樹脂組成物
出願人/特許権者：
国立大学法人 熊本大学
, 国立大学法人 熊本大学 について
AZエレクトロニックマテリアルズ株式会社
AZエレクトロニックマテリアルズ株式会社 について
代理人 (4件)： 吉武 賢次 , 中村 行孝 , 紺野 昭男 , 横田 修孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-214669
公開番号（公開出願番号）：特開2007-033666
出願日： 2005年07月25日
公開日（公表日）： 2007年02月08日
要約：
【課題】 膜表面の白濁の抑制と、残膜率低下の抑制とを両立できる感光性樹脂組成物の提供。【解決手段】 アルカリ可溶性樹脂、キノンジアジド基を有する感光剤ならびに硬化剤を含んでなる感光性樹脂組成物であって、アルカリ可溶性樹脂がアクリル系樹脂であり、硬化剤がエポキシ基を含む硬化剤であり、さらに融点が20°C以下であり、複数のカルボキシル基の一部が高級アルコールでエステル化されたポリカルボン酸エステル化合物を含んでなる感光性樹脂組成物、およびこの感光性樹脂組成物を用いて形成された平坦化膜あるいは層間絶縁膜を具備してなるフラットディスプレィパネルまたは半導体デバイス。前記ポリカルボン酸エステル化合物としては、脂肪族不飽和ジカルボン酸から形成されるものが好ましい。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
アルカリ可溶性のアクリル系樹脂、キノンジアジド基を有する感光剤ならびにエポキシ基を有する硬化剤を含んでなる感光性樹脂組成物であって、融点が20°C以下であり、複数のカルボキシル基の一部が高級アルコールでエステル化されたポリカルボン酸エステル化合物を前記感光性樹脂組成物がさらに含んでなることを特徴とする感光性樹脂組成物。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (14件)：
2H025AA00
, 2H025AA04
, 2H025AB16
, 2H025AB17
, 2H025AB20
, 2H025AC01
, 2H025AD03
, 2H025BE01
, 2H025CB13
, 2H025CB14
, 2H025CB45
, 2H025CC17
, 2H025CC20
, 2H025FA17
引用特許：
出願人引用 (4件)
-
感放射線性樹脂組成物
公報種別：公開公報 出願番号：特願平6-039925 出願人：日本合成ゴム株式会社 -
感放射線性樹脂組成物
公報種別：公開公報 出願番号：特願平7-065454 出願人：日本合成ゴム株式会社 -
国際特許公開第2005/008337号パンフレット
Copyright (c) 2009 Japan Science and Technology Agency. All Rights Reserved