特許
J-GLOBAL ID：200903009573507269
感光性樹脂組成物
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長谷川 洋子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-320790
公開番号（公開出願番号）：特開平10-148942
出願日： 1996年11月15日
公開日（公表日）： 1998年06月02日
要約：
【要約】【課題】 特に、液晶パネルやプリント配線板等の配線パターン形成において、基板との密着性に優れ、耐エッチング性を向上させ得る感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 (A)少なくとも一つのカルボン酸二無水物ユニットと、(B)(イ)少なくとも一つのカルボン酸ユニットおよび/または(ロ)少なくとも一つのカルボン酸エステルユニットを分子内にもつ化合物を含有することを特徴とする、アルカリ水溶液により現像可能な感光性樹脂組成物。
請求項（抜粋）：
(A)少なくとも一つのカルボン酸二無水物ユニットと、(B)(イ)少なくとも一つのカルボン酸ユニットおよび/または(ロ)少なくとも一つのカルボン酸エステルユニットを分子内にもつ化合物を含有することを特徴とする、アルカリ水溶液により現像可能な感光性樹脂組成物。
IPC (9件)：
G03F 7/085
, G03F 7/004 501
, G03F 7/004 503
, G03F 7/004
, G03F 7/022 601
, G03F 7/027 502
, G03F 7/028
, G03F 7/038 601
, H05K 3/06
G03F 7/085
, G03F 7/004 501
, G03F 7/004 503 A
, G03F 7/004 503 Z
, G03F 7/022 601
, G03F 7/027 502
, G03F 7/028
, G03F 7/038 601
, H05K 3/06 H
