特許
J-GLOBAL ID:200903054127540576
計測結果表示方法、X線装置、及びコンピュータプログラム
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
河野 登夫
, 河野 英仁
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-024290
公開番号(公開出願番号):特開2004-233262
出願日: 2003年01月31日
公開日(公表日): 2004年08月19日
要約:
【課題】撮像により得られた画像とX線の計測により得られた画像との対応関係を容易に視認することが可能な計測結果の表示方法を提供する。【解決手段】CCD等の撮像器により撮像した第1の画像データを記憶し、またX線検出器により検出したX線の強度に基づき生成された第2の画像データを記憶する。X線検出器としては、被照射体から発生する蛍光X線を検出する蛍光X線検出器、被照射体を透過した透過X線を検出する透過X線検出器、または試料で回折された回折X線を検出する回折X線検出器等が用いられる。X線検出装置は、記憶した第1画像データの一部領域に、該領域の第1画像データに代えて、該領域の前記記憶した第2画像データを合成して合成画像を生成し、合成画像を表示装置へ出力する。【選択図】 図6
請求項(抜粋):
被照射体に対してX線を照射するX線発生器、X線照射後の被照射体から得られるX線を検出するX線検出器、及び被照射体を撮像する撮像器を備えるX線装置における計測結果の表示方法において、
前記撮像器により撮像した第1の画像データを記憶する第1画像データ記憶ステップと、
前記X線検出器により検出したX線の強度に基づき生成された第2の画像データを記憶する第2画像データ記憶ステップと、
記憶した第1画像データの一部領域に、該領域の第1画像データに代えて、該領域の前記記憶した第2画像データを合成して合成画像を生成する生成ステップと、
前記合成画像を表示装置へ出力する出力ステップと
を備えることを特徴とする計測結果表示方法。
IPC (3件):
G01N23/223
, G01N23/04
, G01N23/207
FI (3件):
G01N23/223
, G01N23/04
, G01N23/207
Fターム (15件):
2G001AA01
, 2G001BA04
, 2G001BA11
, 2G001BA18
, 2G001CA01
, 2G001DA06
, 2G001GA01
, 2G001GA06
, 2G001HA07
, 2G001HA13
, 2G001JA13
, 2G001JA20
, 2G001KA01
, 2G001PA11
, 2G001PA14
引用特許:
出願人引用 (16件)
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審査官引用 (11件)
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特許第2900086号
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座標リンク機構
公報種別:公開公報
出願番号:特願2000-011369
出願人:日本電子株式会社
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X線分析装置およびこれに用いるX線導管
公報種別:公開公報
出願番号:特願2001-213928
出願人:株式会社堀場製作所
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物質同定装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平11-058974
出願人:株式会社堀場製作所
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マスク、露光方法、線幅測定方法、並びに半導体デバイスの製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平11-348196
出願人:株式会社ニコン
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試料解析装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2001-119235
出願人:株式会社島津製作所
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電子線マイクロアナライザー
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-356054
出願人:株式会社島津製作所
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X線分析装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平11-195523
出願人:株式会社堀場製作所
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非破壊検査装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2000-151272
出願人:日立建機ファインテック株式会社
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特許第3143297号
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特許第2943811号
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