化学センサ

発明者： , , ,
出願人/特許権者： , , ,
代理人 (4件)：大岩増雄 , 児玉俊英 , 竹中岑生 , 村上啓吾
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-233310
公開番号（公開出願番号）：特開2004-069661
出願日： 2002年08月09日
公開日（公表日）： 2004年03月04日
要約：

【課題】感応体への対象ガスの付着量を多くする。【解決手段】水晶振動子7の面にそれぞれ一対の参照電極8と検出電極9とを形成し、さらに水晶振動子7の面の検出電極9間に多孔性で薄膜の感応体10を形成する。そして、参照電極8間の参照発信周波数frと検出電極9間の検出発振周波数fsとの差を周波数検出手段13で検出すると、トルエンガス濃度と周波数変動量fdとが比例関係にあり、数ppmレベルの微量域においても検出可能である。さらに、感応体10を多孔性にしたことにより、感応体10の表面積が増大して感応体10へ付着する検出対象ガスが多くなるので、検出精度の向上を図ることができる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：