特許
J-GLOBAL ID：200903054614358813

静電チャック

発明者：
鶴薗 佐蔵

鶴薗 佐蔵 について

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会田 比呂史

会田 比呂史 について

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嵜元 敏和

嵜元 敏和 について

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浜山 康三

浜山 康三 について


出願人/特許権者：
京セラ株式会社

京セラ株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-018837
公開番号（公開出願番号）：特開平11-220012
出願日： 1998年01月30日
公開日（公表日）： 1999年08月10日
要約：
【要約】【課題】優れた強度を有するとともに、低抵抗化を有し、幅広い範囲で静電吸着性を有する静電チャックを提供する。【解決手段】被固定物吸着面5を、窒化ケイ素を主成分として、イッテリビウム(Yb)を酸化物換算で1〜20モル%の割合で含有する窒化ケイ素質焼結体であって、100°Cから250°Cの温度範囲において体積固有抵抗率が108 〜1012Ω・cmの特性を有する焼結体によって形成することにより、強度および耐熱衝撃性に優れ、しかも少なくとも100°Cから250°Cの温度範囲で安定した吸着力を持つ静電チャックを得る。
請求項（抜粋）：
被固体物吸着面が、窒化ケイ素を主成分として、イッテルビウム(Yb)を酸化物換算で1〜20モル%の割合で含有する窒化ケイ素質焼結体からなることを特徴とする静電チャック。
IPC (4件)：
H01L 21/68 ,  B23Q 3/15 ,  C04B 35/584 ,  H02N 13/00
FI (4件)：
H01L 21/68 R ,  B23Q 3/15 D ,  H02N 13/00 D ,  C04B 35/58 102 C
引用特許：
審査官引用 (6件)
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