特許
J-GLOBAL ID:200903054764253084
変位光量変換装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
柴田 昌雄
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-313738
公開番号(公開出願番号):特開2004-150848
出願日: 2002年10月29日
公開日(公表日): 2004年05月27日
要約:
【課題】発光部から放射される光の可干渉性が高い場合において、戻り光誘起雑音を発生させないか、発生を抑制する変位光量変換装置を提供する。【解決手段】発光部1と受光部2とに振動板3を対向させて配置し、発光部1から発光され振動板3で反射された光を受光部2で受光させ、振動板3の変位が受光部2の出力に変換される変位光量変換装置であって、発光部1から放射される光の可干渉性が高い変位光量変換装置において、受光部2表面における受光領域4に分割帯5を配置し、分割帯5の幅を10μm未満とした。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
発光部と受光部とに測定媒体を対向させて配置し、前記発光部から発光され前記測定媒体で反射または透過された光を前記受光部で受光させ、前記測定媒体の変位が前記受光部の出力に変換される変位光量変換装置であって、前記発光部から放射される光の可干渉性が高い変位光量変換装置において、前記受光部表面における受光領域に分割帯を設け、前記分割帯の幅を10μm未満としたことを特徴とする変位光量変換装置。
IPC (5件):
G01H9/00
, G01B11/00
, H01L27/14
, H01L31/12
, H04R23/00
FI (6件):
G01H9/00 B
, G01B11/00 B
, H01L31/12 D
, H01L31/12 E
, H04R23/00
, H01L27/14 Z
Fターム (34件):
2F065AA02
, 2F065AA06
, 2F065AA09
, 2F065BB05
, 2F065BB15
, 2F065DD12
, 2F065EE03
, 2F065FF44
, 2F065GG06
, 2F065GG18
, 2F065GG22
, 2F065HH02
, 2F065JJ01
, 2F065JJ15
, 2F065LL19
, 2F065QQ25
, 2G064AB02
, 2G064BA05
, 2G064BC02
, 2G064BC16
, 2G064BC25
, 2G064BC32
, 4M118AA05
, 4M118AB10
, 4M118CA01
, 4M118GA04
, 4M118GB18
, 5D021DD04
, 5F089BA02
, 5F089BB03
, 5F089BB04
, 5F089BC08
, 5F089CA06
, 5F089CA15
引用特許:
審査官引用 (8件)
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光学式変位センサ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平11-006411
出願人:オリンパス光学工業株式会社
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ホログラムレーザユニットおよびそれを用いた光ピックアップ装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2000-341606
出願人:シャープ株式会社
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半導体光装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2001-008877
出願人:キヤノン株式会社
-
変位光量変換装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2001-042728
出願人:株式会社ケンウッド
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音響等による微小変位検出装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2000-344107
出願人:株式会社ケンウッド
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光学式変位センサ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平11-153743
出願人:オリンパス光学工業株式会社
-
振動検出装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2000-391267
出願人:株式会社ケンウッド
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特開昭63-289413
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