ペリクル枠保持具

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小島隆司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-031400
公開番号（公開出願番号）：特開平9-204039
出願日： 1996年01月25日
公開日（公表日）： 1997年08月05日
要約：

【要約】【解決手段】内部に四角リング状のペリクル枠を収容可能な四角リング状の外枠と、この外枠の一内側面又はこの内側面及びこれと隣接する一方の内側面に取り付けられた固定ピンと、この固定ピンが取り付けられた内側面に対向する内側面に進退可能に取り付けられた可動ピンとを具備し、上記固定ピンと可動ピンとにより上記外枠内に収容されたペリクル枠を把持するように構成したことを特徴とするペリクル枠保持具。【効果】本発明によれば、可動ピンの伸縮性によりペリクル枠と接続ピンに隙間がなくなり、ペリクル枠と接続ピンの接続部から発塵する可能性が極めて少なくなるという優位性が与えられる。また、可動ピンの伸縮性によりペリクル枠の撓みが抑制され、ペリクル膜張力低下、不均一によるペリクル膜の透過率低下がなくなり、更には、万が一付着した異物をエアブローで除去する際に振動して発塵することがなくなるという優位性が与えられる。

請求項（抜粋）：

内部に四角リング状のペリクル枠を収容可能な四角リング状の外枠と、この外枠の一内側面又はこの内側面及びこれと隣接する一方の内側面に取り付けられた固定ピンと、この固定ピンが取り付けられた内側面に対向する内側面に進退可能に取り付けられた可動ピンとを具備し、上記固定ピンと可動ピンとにより上記外枠内に収容されたペリクル枠を把持するように構成したことを特徴とするペリクル枠保持具。

IPC (3件)：

G03F 1/14 , B08B 17/00 , H01L 21/027

FI (3件)：

G03F 1/14 K , B08B 17/00 , H01L 21/30 502 P

引用特許：

審査官引用 (4件)

ペリクルケース
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-065718 出願人：株式会社ニコン
リソグラフィー用ペリクル膜の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-034741 出願人：信越化学工業株式会社
露光用マスクの製造方法及びその装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-322246 出願人：株式会社写真化学

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