特許
J-GLOBAL ID：200903054917886529

カーボンナノチューブの製造装置

発明者：
井上 鉄也

井上 鉄也 について

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大工 博之

大工 博之 について

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石辺 二朗

石辺 二朗 について


出願人/特許権者：
日立造船株式会社

日立造船株式会社 について


代理人 (4件)： 日比 紀彦 ,  岸本 瑛之助 ,  渡邊 彰 ,  清末 康子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-116131
公開番号（公開出願番号）：特開2004-323871
出願日： 2003年04月21日
公開日（公表日）： 2004年11月18日
要約：
【課題】均一な電子放出、低い電圧での駆動および長寿命化を達成することができる、カーボンナノチューブを提供する。【解決手段】カーボンナノチューブの製造装置は、密閉状の反応容器1 と、同容器の頂部に配された原料ガス供給管7 および触媒金属溶液供給管8 と、同容器の上端寄りに設けられ、かつ化学蒸着法によりカーボンナノチューブを形成する反応ゾーン9 と、反応ゾーンの下に設けられ、かつカーボンナノチューブを静電作用により垂直に配向すると共に下方に加速する静電ゾーン14と、静電ゾーンの下に配置され、かつ降下して来るカーボンナノチューブを固着する導電性樹脂層21を表面に有する基板11と、反応容器の底壁6 に設けられた排気口20とを具備したものである。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
密閉状の反応容器と、同容器の頂部に配された原料ガス供給管および触媒金属溶液供給管と、同容器の上端寄りに設けられ、かつ化学蒸着法によりカーボンナノチューブを形成する反応ゾーンと、反応ゾーンの下に設けられ、かつカーボンナノチューブを静電作用により垂直に配向すると共に下方に加速する静電ゾーンと、静電ゾーンの下に配置され、かつ降下して来るカーボンナノチューブを固着する導電性樹脂層を表面に有する基板と、反応容器の底壁に設けられた排気口とを具備した、カーボンナノチューブの製造装置。
IPC (2件)：
C23C16/26 ,  C01B31/02
FI (2件)：
C23C16/26 ,  C01B31/02 101F
Fターム (19件)：
4G146AA11 ,  4G146AD14 ,  4G146AD29 ,  4G146BA12 ,  4G146BC09 ,  4G146BC18 ,  4G146BC44 ,  4G146CB23 ,  4G146DA03 ,  4G146DA25 ,  4G146DA28 ,  4G146DA44 ,  4K030AA09 ,  4K030BA27 ,  4K030BB01 ,  4K030CA07 ,  4K030FA10 ,  4K030KA25 ,  4K030LA18
引用特許：
審査官引用 (7件)
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引用文献：
審査官引用 (1件)

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