特許

J-GLOBAL ID：200903055019027923

露光装置及び露光方法並びにデバイス製造方法

発明者： 西永 壽 ,  引間 郁雄 ,  豊田 光紀 ,  水野 恭志 ,  北 尚憲 ,  谷津 修
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (4件)： 志賀 正武 ,  高橋 詔男 ,  青山 正和 ,  西 和哉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-284218
公開番号（公開出願番号）：特開2005-268744
出願日： 2004年09月29日
公開日（公表日）： 2005年09月29日
要約：

【課題】 投影光学系の開口数が増大しても投影光学系からの露光光を受光して、各種の計測を行うことができる露光装置等を提供する。【解決手段】 センサ40は、平凸レンズ41及び受光素子42を含んで構成される。平凸レンズ41の平坦部41aには、Cr(クロム)等を蒸着して遮光部43と光透過部44が形成されている。この平凸レンズ41は上面がウェハステージの上面15aと一致するように配置される。投影光学系PLと平凸レンズ41との間には液体wが供給され、投影光学系PLから液体wに入射した露光光のうち、光透過部44に入射した露光光は、気体中を通過せずに平凸レンズ41に入射して収束される。【選択図】 図5

請求項（抜粋）：

照明系からの露光光を、投影光学系と液体とを介して基板上に照射することによって前記基板を露光する露光装置において、 前記投影光学系の像面側に配置された光透過部を介して、前記投影光学系を通過した露光光を受光する受光器を有する計測手段を備え、 前記投影光学系と前記光透過部との間に液体がない状態で、前記計測手段の受光器で前記投影光学系を通過した露光光を受光することを特徴とする露光装置。

IPC (2件)：

H01L21/027 ,  G03F7/20

FI (4件)：

H01L21/30 516C ,  G03F7/20 521 ,  H01L21/30 514E ,  H01L21/30 515D

Fターム (9件)：

5F046AA28 ,  5F046BA03 ,  5F046CB01 ,  5F046CB13 ,  5F046CB23 ,  5F046CB24 ,  5F046DA01 ,  5F046DB01 ,  5F046DC12

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-124625   出願人：株式会社ニコン
• 国際公開第01/008205号パンフレット
  
• 国際公開第99/49504号パンフレット
  

審査官引用 (4件)

• リソグラフィ装置及びデバイス製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-247643   出願人：エイエスエムエルネザランドズベスローテンフエンノートシャップ
• 液浸リソグラフィ用ウェハテーブル
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2006-518633   出願人：株式会社ニコン
• 露光装置及びその調整方法、露光方法、並びにデバイス製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-328993   出願人：株式会社ニコン
• 面位置検出装置、露光方法、及びデバイス製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-412586   出願人：株式会社ニコン