特許
J-GLOBAL ID：200903079254273512

面位置検出装置、露光方法、及びデバイス製造方法

発明者：
日高 康弘

日高 康弘 について

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水谷 英夫

水谷 英夫 について

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馬込 伸貴

馬込 伸貴 について

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大和 壮一

大和 壮一 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (4件)： 志賀 正武 ,  高橋 詔男 ,  青山 正和 ,  西 和哉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-412586
公開番号（公開出願番号）：特開2004-301825
出願日： 2003年12月10日
公開日（公表日）： 2004年10月28日
要約：
【課題】 面位置検出用検出光の光路上の屈折率が変化しても被検面の面位置情報を精度良く検出できる面位置検出装置を提供する。【解決手段】 面位置検出装置100は、検出光を被検面Sに投射する送光系8と、その被検面Sからの反射光を受光する受光系9とを有し、受光系9によって得られる情報に基づいて、被検面Sの面位置情報を検出する。検出光として、複数の光L1、L2を異なる入射角θ1、θ2で被検面Sに投射する。温度変化により被検面S上の媒質の屈折率が変化した場合でも、光L1、L2からの反射光に基づいて面位置情報を補正することができる。検出装置100は液浸露光装置に有用である。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
検出光を被検面に投射するとともに、その被検面からの反射光を受光することによって得られる情報に基づいて、被検面の面位置を検出する面位置検出装置であって、 検出光として、複数の光を異なる入射角で被検面に投射する送光系と; 被検面からの反射光を受光する受光系と;を備える面位置検出装置。
IPC (3件)：
G01B11/00 ,  G03F7/207 ,  H01L21/027
FI (4件)：
G01B11/00 A ,  G03F7/207 H ,  H01L21/30 526B ,  H01L21/30 515D
Fターム (26件)：
2F065AA01 ,  2F065BB01 ,  2F065BB02 ,  2F065CC20 ,  2F065EE08 ,  2F065FF10 ,  2F065GG05 ,  2F065GG22 ,  2F065GG23 ,  2F065HH12 ,  2F065HH14 ,  2F065JJ18 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL13 ,  2F065LL22 ,  2F065LL28 ,  2F065PP12 ,  5F046BA04 ,  5F046BA05 ,  5F046CB01 ,  5F046CC01 ,  5F046CC03 ,  5F046CC05 ,  5F046DA14 ,  5F046DB05 ,  5F046DC10
引用特許：
出願人引用 (2件)
  • 面位置検出光学装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-163247   出願人：株式会社ニコン
  • 国際公開第99/49504号パンフレット
審査官引用 (3件)

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