特許
J-GLOBAL ID：200903055140446038
洗浄液加熱装置及びそれを用いた洗浄液加熱方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉本 良夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-265294
公開番号（公開出願番号）：特開2006-080431
出願日： 2004年09月13日
公開日（公表日）： 2006年03月23日
要約：
【課題】洗浄液をその内部ゴミ等が混入することを有効に防止しつつ所定温度に加熱可能とする洗浄液加熱装置及びそれを用いた洗浄液加熱方法の提供。【解決手段】内部に洗浄液ライン(2)の一部が配設された加熱槽(1)と、該加熱槽(1)に市水を供給するための市水供給手段(3)と、前記加熱槽(1)に供給された市水を循環するための市水循環手段(4)と、該市水循環手段(4)により循環している市水を加熱するための市水加熱手段(6)と、該市水加熱手段(6)により加熱された市水の温度を監視するための温度監視手段(7)と、を具備し、前記加熱槽(1)内に所定量の市水を供給し、該供給した市水を加熱手段により加熱しつつ循環させるとともに、前記洗浄液ライン(2)内で洗浄液を移動させ、これにより、加熱した市水を用いて洗浄液ライン内を移動する洗浄液を加熱することを特徴とする。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
内部に洗浄液ライン(2)の一部が配設された加熱槽(1)と、
該加熱槽(1)に市水を供給するための市水供給手段(3)と、
前記加熱槽(1)に供給された市水を循環するための市水循環手段(4)と、
該市水循環手段(4)により循環している市水を加熱するための市水加熱手段(6)と、
該市水加熱手段(6)により加熱された市水の温度を監視するための温度監視手段(7)と、
を具備したことを特徴とする洗浄液加熱装置。
IPC (2件)：
FI (4件)：
H01L21/304 648K
, H01L21/304 642A
, H01L21/304 648G
, B08B3/04 Z
3B201AA02
, 3B201AA03
, 3B201AB01
, 3B201BB02
, 3B201BB03
, 3B201BB82
, 3B201BB93
, 3B201CD41
出願人引用 (3件)
-
洗浄装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平4-087645
出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン九州株式会社
-
純水加熱装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平6-110519
出願人：三菱商事株式会社, 神鋼パンテツク株式会社
-
洗浄処理装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平10-093186
出願人：東京エレクトロン株式会社
審査官引用 (2件)
前のページに戻る
