角速度センサ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：足立勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-099331
公開番号（公開出願番号）：特開平11-006738
出願日： 1998年04月10日
公開日（公表日）： 1999年01月12日
要約：

【要約】【課題】圧電体からなる音叉形状若しくは複数の音叉を合成した形状の振動子を備えた角速度センサにおいて、オフセット温度ドリフトを抑制する。【解決手段】圧電体にて音叉形状に形成され、外壁面に駆動電極12a,12b及び検出電極22a,22bを有する振動子を備えた角速度センサにおいて、駆動電極12a,12bへの電圧印加により振動子2をY軸方向に励振させたときの駆動共振波数fdと、検出電極22a,22bを介して角速度を検出する際のX軸方向の共振周波数fsとの比fd/fsが、0.9以上0.96以下又は1.04以上1.1以下となり、各アーム部4,6における駆動電極12a,12bと検出電極22a,22bとのZ軸方向の電極間距離Gと、振動子2のX軸方向の厚みtsとの比G/tsが1.4以上となるように振動子2を形成する。この結果、検出信号のオフセット温度ドリフトを低減できる。尚、音叉を組み合わせた櫛形又はH字形の振動子ではfd/fsを上記範囲内に設定すればよい。

請求項（抜粋）：

互いに平行に配置された少なくとも一対のアーム部と各アーム部の一端を連結する連結部とにより形成された圧電体からなり、外壁面に、少なくとも、外部から交流電圧を受けて前記各アーム部を各アーム部の配列方向である駆動軸方向に励振する駆動電極、及び、各アーム部において前記駆動軸とは直交する検出軸方向に生じる振動を検出する一対の検出電極、が形成された振動子を備えた角速度センサにおいて、前記振動子を、前記駆動軸方向への共振周波数fdと、前記検出軸方向への共振周波数fsとの比fd/fsが、0.9以上0.96以下、又は、1.04以上1.1以下、の範囲内になるように形成したことを特徴とする角速度センサ。

IPC (2件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04

FI (2件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04

引用特許：

審査官引用 (8件)

特開平4-372814
内蔵試験回路を有する回転速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-165004 出願人：ニューエスディーインコーポレイテッド
角速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-205385 出願人：株式会社デンソー

全件表示

前のページに戻る