特許
J-GLOBAL ID：200903055298975062

静電チャック

発明者：
神谷 哲

神谷 哲 について


出願人/特許権者：
京セラ株式会社

京セラ株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-190461
公開番号（公開出願番号）：特開2006-013256
出願日： 2004年06月28日
公開日（公表日）： 2006年01月12日
要約：
【課題】ウェハが飽和温度に達するまでの時間が短く、かつウェハの面内温度差が小さい静電チャックを提供する。【解決手段】板状体8の一方の主面をウェハを載せる載置面8aとし、板状体8の他方の主面または内部に吸着用電極6を備えるとともに、板状体8の一方の主面8aに、貫通孔5、複数の凸部8b、外周に備えた環状の凸部8c、及びこれらの凸部8b、8c間に備えた溝部8dを有するとともに、凸部8bの平面形状が4つの辺と4つの辺を繋ぐ屈曲線からなり、凸部8bが載置面8aに一様に配設する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
板状体の一方の主面をウェハを載せる載置面とし、前記板状体の他方の主面または内部に吸着用の電極を備えた静電チャックにおいて、前記板状体の一方の主面に、貫通孔、複数の凸部、外周に備えた環状の凸部、及びこれらの凸部間に備えた溝部を有するとともに、上記凸部の平面形状が4つの辺と4つの辺を繋ぐ屈曲線からなり、上記凸部が上記載置面に一様に配設されていることを特徴とする静電チャック。
IPC (2件)：
H01L 21/683 ,  H02N 13/00
FI (2件)：
H01L21/68 R ,  H02N13/00 D
Fターム (9件)：
5F031CA02 ,  5F031HA02 ,  5F031HA03 ,  5F031HA08 ,  5F031HA16 ,  5F031HA37 ,  5F031HA38 ,  5F031HA40 ,  5F031PA11
引用特許：
出願人引用 (4件)
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