特許
J-GLOBAL ID:200903055469318898
光導波路デバイス及びその製造方法
発明者:
,
,
,
,
,
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
小島 清路
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-078219
公開番号(公開出願番号):特開2006-003868
出願日: 2005年03月17日
公開日(公表日): 2006年01月05日
要約:
【課題】 光路変換部の形成位置等の設計自由度が高く、且つ漏光及び散乱損失の発生が抑制された光導波路デバイス及びその製造方法を提供する。【解決手段】 本光導波路デバイスの製造方法は、基部3と、基部3上に配置された下部クラッド部21と、下部クラッド部21上に積層され且つ光を伝搬するコア部1と、コア部1上に配置された上部クラッド部22と、基部3上に形成されており且つコア部を伝搬した光の光路を変換する光路変換部41、42と、を備える光導波路デバイス100を製造する方法であり、上記基部3と、基部3上に形成された上記下部クラッド部21及び上記光路変換部41、42と、を備える積層体上に、コア部形成用未硬化フィルムを配設するコア部形成用未硬化フィルム配設工程と、上記コア部1を形成するコア部形成工程と、上記上部クラッド部22を形成する上部クラッド部形成工程と、を備える。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
基部と、該基部上に配置された下部クラッド部と、該下部クラッド部上に積層され且つ光を伝搬するコア部と、該コア部上に配置された上部クラッド部と、該基部上に形成されており且つ該コア部を伝搬した光の光路を変換する光路変換部と、を備える光導波路デバイスの製造方法において、
上記基部と、該基部上に形成された上記下部クラッド部及び上記光路変換部と、を備える積層体上に、コア部形成用未硬化フィルムを配設するコア部形成用未硬化フィルム配設工程と、
上記コア部を形成するコア部形成工程と、
上記上部クラッド部を形成する上部クラッド部形成工程と、を備えることを特徴とする光導波路デバイスの製造方法。
IPC (2件):
FI (2件):
Fターム (38件):
2H147AB03
, 2H147AB04
, 2H147AB05
, 2H147AB17
, 2H147AB22
, 2H147AB31
, 2H147BG02
, 2H147CA02
, 2H147CA13
, 2H147CB01
, 2H147CB06
, 2H147DA08
, 2H147EA03C
, 2H147EA07C
, 2H147EA09C
, 2H147EA14C
, 2H147EA16A
, 2H147EA16B
, 2H147EA16C
, 2H147EA17A
, 2H147EA17B
, 2H147EA17C
, 2H147EA18A
, 2H147EA18B
, 2H147EA19A
, 2H147EA19B
, 2H147EA20A
, 2H147EA20B
, 2H147EA20C
, 2H147EA22C
, 2H147FA01
, 2H147FA15
, 2H147FA17
, 2H147FD08
, 2H147FE02
, 2H147FE03
, 2H147FF05
, 2H147GA19
引用特許: