特許
J-GLOBAL ID:200903055490452740

顕微鏡

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 伊藤 武久 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-362663
公開番号(公開出願番号):特開2002-196218
出願日: 2001年11月28日
公開日(公表日): 2002年07月12日
要約:
【要約】【課題】 遠紫外スペクトル領域または可視スペクトル領域における選択的な作業のための簡単で確実な切換が可能である顕微鏡を創作すること。【解決手段】 一方における反射器サポート(13)と他方における鏡胴レンズ交換器(16)が機械的に互いに連結されていて、それにより、選択されたスペクトル領域に依存して、照明光路内にて反射器サポート(13)を所定の反射器(12)に調節する場合に、鏡胴レンズ交換器(16)が反射器(12)及び選択されたスペクトル領域に対応する鏡胴レンズ(17)を光学軸線(15)内にて配置するように鏡胴レンズ交換器(16)が自動的に位置調節されること。
請求項(抜粋):
遠紫外のDUVスペクトル領域と可視のVISスペクトル領域の間の切換が可能である顕微鏡において、- DUVスペクトル領域またはVISスペクトル領域に割り当てられていて照明光路内に選択的に取り入れ可能である複数の反射器(12)を有する反射器サポート(13)が設けられていること、- 遠紫外のDUVスペクトル領域用の少なくとも1つのDUV鏡胴レンズ(17a)並びに可視のVISスペクトル領域用の少なくとも1つのVIS鏡胴レンズ(17b)を備えた位置調節可能な鏡胴レンズ交換器(16)が設けられていること、及び、- 選択されたスペクトル領域に切り換える場合に、このスペクトル領域に割り当てられている反射器(12)が照明光路内に取り入れられ、この際に、鏡胴レンズ交換器(16)が反射器(12)及び選択されたスペクトル領域に対応する鏡胴レンズ(17)を光学軸線(15)内にて配置するように鏡胴レンズ交換器(16)が自動的に位置調節されることを特徴とする顕微鏡。
IPC (2件):
G02B 7/16 ,  G02B 21/24
FI (2件):
G02B 7/16 ,  G02B 21/24
Fターム (15件):
2H044HC01 ,  2H044HC05 ,  2H052AA04 ,  2H052AB06 ,  2H052AB25 ,  2H052AC04 ,  2H052AC06 ,  2H052AC07 ,  2H052AC12 ,  2H052AC14 ,  2H052AD29 ,  2H052AD32 ,  2H052AD33 ,  2H052AD34 ,  2H052AF14
引用特許:
審査官引用 (6件)
  • 顕微鏡
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平9-114234   出願人:株式会社ニコン
  • 顕微鏡装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平10-246128   出願人:株式会社ニコン
  • 走査型顕微鏡
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平4-290088   出願人:オリンパス光学工業株式会社
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