特許
J-GLOBAL ID:200903055636827643
撮像装置及び生体高分子分析チップ
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
荒船 博司
, 荒船 良男
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-176894
公開番号(公開出願番号):特開2006-004991
出願日: 2004年06月15日
公開日(公表日): 2006年01月05日
要約:
【課題】 生体高分子分析にも適用可能な感度の高い撮像装置を提供すること。【解決手段】 生体高分子分析チップ1は、透明基板17と、透明基板17上においてダブルゲートトランジスタ20を二次元アレイ状に配列してなる固体撮像デバイス3と、固体撮像デバイス3の受光面上においてマトリクス状に点在したスポット60,60,...と、を具備する。ダブルゲートトランジスタ20は、半導体膜23を受光部としており、半導体膜23に入射した光量に応じた電気信号に変換するものである。半導体膜23と固体撮像デバイス3の受光面との間には、マイクロレンズ35が形成されている。複数のマイクロレンズ35による凹凸は、平坦化膜34によって平坦化されている。【選択図】図2
請求項(抜粋):
受光部で受光した光量を電気信号に変換する複数の光電変換素子を受光面下において二次元アレイ状に配列してなる固体撮像デバイスと、
前記複数の光電変換素子の受光部それぞれと受光面との間において形成された複数のマイクロレンズと、
前記複数のマイクロレンズを被覆する被覆膜と、を有することを特徴とする撮像装置。
IPC (5件):
H01L 27/14
, C12M 1/00
, H04N 5/335
, G01N 27/416
, H01L 27/146
FI (5件):
H01L27/14 K
, C12M1/00 A
, H04N5/335 Z
, G01N27/46 U
, H01L27/14 C
Fターム (21件):
4B029AA07
, 4B029BB20
, 4B029CC03
, 4B029CC08
, 4B029FA12
, 4M118AB01
, 4M118BA05
, 4M118CA11
, 4M118CA32
, 4M118CB06
, 4M118CB11
, 4M118CB14
, 4M118FB03
, 4M118FB09
, 4M118FB13
, 4M118GD04
, 4M118GD07
, 5C024CX41
, 5C024EX21
, 5C024EX43
, 5C024GX02
引用特許: