特許
J-GLOBAL ID：200903055657665520
薄膜ヒータ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
青木 輝夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-084396
公開番号（公開出願番号）：特開2000-275078
出願日： 1999年03月26日
公開日（公表日）： 2000年10月06日
要約：
【要約】【課題】 感熱式フローセンサなどに用いられる薄膜ヒータに関し、ヒータ配線の折曲部の内壁に電子が集中してヒータ配線が劣化するのを抑制することを目的とする。【解決手段】 直線状の複数の本体部11Aおよびこの本体部間を接続する折曲部11Bからなるヒータ配線を備え、ヒータ配線の折曲部は本体部よりも低い抵抗値となるように、抵抗値の低い異種材質で構成したり、断面積が大きくなるように構成したりしたものである。
請求項（抜粋）：
直線状の複数の本体部および前記本体部間を接続する折曲部からなるヒータ配線を備え、前記ヒータ配線の折曲部は前記本体部よりも低い抵抗値となるように加工されていることを特徴とする薄膜ヒータ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (2件)：
引用特許：
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