マイクロ波プラズマ発生装置及び方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：藤田考晴 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-302994
公開番号（公開出願番号）：特開2000-133494
出願日： 1998年10月23日
公開日（公表日）： 2000年05月12日
要約：

【要約】【課題】プラズマを安定に効率よく発生させることができるマイクロ波プラズマ発生装置およびマイクロ波プラズマ発生方法を提供すること。【解決手段】外管4aと内管4bとを備えた2重管構造の放電管4と、放電管4が設けられた同軸型マイクロ波キャビティー3aとを備えたマイクロ波プラズマ発生装置において、外管4aと内管4bとの隙間部の断面積が一定であることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

外管と内管とを備えた2重管構造の放電管と、該放電管が設けられた同軸型マイクロ波キャビティーとを備えたマイクロ波プラズマ発生装置において、前記外管と内管との隙間部の断面積が一定であることを特徴とするマイクロ波プラズマ発生装置。

IPC (2件)：

H05H 1/30 , B01J 19/12

FI (2件)：

H05H 1/30 , B01J 19/12 A

Fターム (10件)：

4G075AA43 , 4G075BA01 , 4G075CA26 , 4G075CA47 , 4G075DA02 , 4G075EA01 , 4G075EB31 , 4G075EB41 , 4G075EC01 , 4G075EC06

引用特許：

審査官引用 (10件)

特開平1-176700
特開平3-095899
特開昭63-312907

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