特許
J-GLOBAL ID：200903055989005833
CVD装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
樺澤 襄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-176969
公開番号（公開出願番号）：特開平6-020954
出願日： 1992年07月03日
公開日（公表日）： 1994年01月28日
要約：
【要約】【目的】 コンパクトで、かつ、温度制御を容易にできるCVD装置を提供する。【構成】 ガラス基板Bを搬入する基板搬入部1、予備加熱する予備加熱部2、化学気相成長処理を行なうCVD部3、冷却する冷却部4および搬出する基板搬出部5を直線的に配設する。金属製のメッシュのベルトコンベア6の往路により順次搬送する。予備加熱部2に、順次温度を高く設定したホットプレート11a ,11b ,11c および赤外線ランプ12a ,12b ,12c を、順次ベルトコンベア6に沿って配設する。冷却部4に、順次温度を低く設定した冷却プレート13a ,13b ,13c を配設する。ホットプレート11a ,11b ,11c 、冷却プレート13a ,13b ,13c 上を搬送するガラス基板Bの搬送速度、ガラス基板Bの滞留時間を個別に設定し、100°C/分に設定した温度勾配で加熱、冷却する。
請求項（抜粋）：
被成膜物を搬入する搬入部と、この搬入された被成膜物を加熱する予備加熱部と、前記被成膜物を化学気相成長させるCVD部と、前記被成膜物を冷却する冷却部と、前記被成膜物を搬出する搬出部とを備えたCVD装置において、前記予備加熱部および前記冷却部の少なくともいずれか一方は、順次温度の異なる複数のプレートにて構成されたことを特徴とするCVD装置。
引用特許：
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