真空計

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-361412
公開番号（公開出願番号）：特開2001-133346
出願日： 1999年11月05日
公開日（公表日）： 2001年05月18日
要約：

【要約】【目的】交叉電磁界真空計の陽極から見た放電空間のアスペクト比を適切な範囲にすることにより,圧力-放電々流の特性において電流の急変点が殆んどなく,放電々流がほゞ圧力に比例する冷陰極放電真空計を実現する。【構成】陽極から見た放電空間のアスペクト比(放電空間の陽-陰極間距離)/(磁極片間距離)の比を0.5以上にした陰極と陽極,磁界を作る磁石,電圧を印加する電源,放電々流測定用電流計よりなり放電々流を測定し,圧力を測定する。

請求項（抜粋）：

内部を真空にできる容器,前記真空容器の内部に設けられた磁界を形成するための磁石,前記磁界と少くとも一部が直交する電界を設定する手段により空間に放電を起し,流れる電流から真空度を測定する真空計において,陽極から見た放電空間のアスペクト比が0.5以上あることを特徴とする真空計。

Fターム (6件)：

2F055AA11 , 2F055BB08 , 2F055CC45 , 2F055FF43 , 2F055GG11 , 2F055GG49

引用特許：

審査官引用 (7件)

真空計
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-091801 出願人：麻蒔立男
面状陰極放電装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-062766 出願人：麻蒔立男
プラズマ処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-288640 出願人：堀池靖浩, 株式会社神戸製鋼所

全件表示

前のページに戻る