特許
J-GLOBAL ID:200903056586853970

磁気センサ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 三浦 邦夫
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-304955
公開番号(公開出願番号):特開2003-106866
出願日: 2001年10月01日
公開日(公表日): 2003年04月09日
要約:
【要約】【課題】外部磁界により磁気抵抗効果素子から歪みの少ない出力信号を得る。【解決手段】4個の磁気抵抗効果素子GMR1〜GMR4の固定層の磁化方向は、磁気スケール5上での磁極配列方向Mhと交差し、外部磁界が作用しない状態での自由層の磁化方向は、固定層の磁化方向と同一方向とする。第1と第2及び第3と第4の磁気抵抗効果素子の間隔X1はnλ±(1/4)λを満足し、かつ第1と第3及び第2と第4の磁気抵抗効果素子の間隔X2はnλ±(1/8)λを満足し、該磁気抵抗効果素子と磁気スケール5とを磁極配列方向Mhに相対移動させて、4個の磁気抵抗効果素子の出力信号からその相対移動量を検出する。
請求項(抜粋):
磁化方向が固定された固定層と、外部磁界が作用しない状態での磁化方向がこの固定層の磁化方向と同一方向又は反対方向で、外部磁界によって磁化方向が変化する自由層とを含み、固定層の磁化方向に対する自由層の磁化方向の変化に応じた出力信号を出力する、少なくとも2個の磁気抵抗効果素子;及びN極とS極とが一定方向に等間隔かつ交互に着磁された磁気スケール;を有し、前記2個の磁気抵抗効果素子の固定層の磁化方向は、磁極配列方向と交差する方向であり、前記磁気スケールのN極とS極間の長さである単位基準長さをλとし、前記2個の磁気抵抗効果素子の間隔をX1としたとき、X1=nλ±(1/4)λ(n=1、2、3〜N)を満足し、該磁気抵抗効果素子と磁気スケールとを磁極配列方向に相対移動させて、2個の磁気抵抗効果素子の出力信号からその相対移動量を検出することを特徴とする磁気センサ。
IPC (2件):
G01D 5/245 ,  H01L 43/08
FI (5件):
G01D 5/245 R ,  G01D 5/245 Y ,  H01L 43/08 A ,  H01L 43/08 U ,  H01L 43/08 Z
Fターム (9件):
2F077AA25 ,  2F077CC02 ,  2F077JJ03 ,  2F077JJ10 ,  2F077JJ28 ,  2F077PP15 ,  2F077QQ05 ,  2F077TT13 ,  2F077TT16
引用特許:
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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