特許
J-GLOBAL ID：200903056686595642

金属酸化物膜の製造方法

発明者：
小堀 裕之

小堀 裕之 について

, 
野村 圭介

野村 圭介 について


出願人/特許権者：
大日本印刷株式会社

大日本印刷株式会社 について


代理人 (2件)： 山下 昭彦 ,  岸本 達人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-326640
公開番号（公開出願番号）：特開2006-160600
出願日： 2005年11月10日
公開日（公表日）： 2006年06月22日
要約：
【課題】本発明は、従来のスプレー熱分解法による熱分解成膜と比較して、より低い基材加熱温度で金属酸化物膜を得ることが可能な金属酸化物膜の製造方法を提供することを主目的とするものである。【解決手段】本発明は、金属源として金属塩または金属錯体が溶解した金属酸化物膜形成用溶液と、金属酸化物膜形成温度以上の温度まで加熱した基板とを接触させることにより、上記基材上に金属酸化物膜を得る金属酸化物膜の製造方法であって、上記金属酸化物膜形成用溶液が、酸化剤および還元剤の少なくとも一方を含有することを特徴とする金属酸化物膜の製造方法を提供することにより上記課題を解決する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
金属源として金属塩または金属錯体が溶解した金属酸化物膜形成用溶液と、金属酸化物膜形成温度以上の温度まで加熱した基板とを接触させることにより、前記基材上に金属酸化物膜を得る金属酸化物膜の製造方法であって、 前記金属酸化物膜形成用溶液が、酸化剤および還元剤の少なくとも一方を含有することを特徴とする金属酸化物膜の製造方法。
IPC (5件)：
C01B 13/34 ,  C01G 25/02 ,  C01G 9/02 ,  C01F 5/06 ,  C23C 18/12
FI (5件)：
C01B13/34 ,  C01G25/02 ,  C01G9/02 A ,  C01F5/06 ,  C23C18/12
Fターム (78件)：
4G002AA02 ,  4G002AB01 ,  4G002AB07 ,  4G042DA01 ,  4G042DB10 ,  4G042DB22 ,  4G042DC01 ,  4G042DC03 ,  4G042DD02 ,  4G042DE03 ,  4G042DE04 ,  4G042DE06 ,  4G042DE08 ,  4G042DE12 ,  4G047AA02 ,  4G047AB02 ,  4G047AC03 ,  4G047AD02 ,  4G048AA02 ,  4G048AB02 ,  4G048AB06 ,  4G048AC04 ,  4G048AD02 ,  4G048AE06 ,  4G072AA25 ,  4G072BB09 ,  4G072FF04 ,  4G072GG03 ,  4G072HH05 ,  4G072JJ26 ,  4G072JJ30 ,  4G072JJ34 ,  4G072NN21 ,  4G072RR04 ,  4G076AA02 ,  4G076AB10 ,  4G076BA13 ,  4G076BA42 ,  4G076CA10 ,  4G076DA04 ,  4G076DA11 ,  4K022AA02 ,  4K022AA03 ,  4K022AA04 ,  4K022AA05 ,  4K022AA13 ,  4K022AA32 ,  4K022AA37 ,  4K022AA43 ,  4K022BA01 ,  4K022BA02 ,  4K022BA06 ,  4K022BA07 ,  4K022BA08 ,  4K022BA09 ,  4K022BA10 ,  4K022BA11 ,  4K022BA12 ,  4K022BA14 ,  4K022BA17 ,  4K022BA18 ,  4K022BA20 ,  4K022BA21 ,  4K022BA22 ,  4K022BA23 ,  4K022BA24 ,  4K022BA25 ,  4K022BA26 ,  4K022BA27 ,  4K022BA28 ,  4K022BA33 ,  4K022DA06 ,  4K022DB01 ,  4K022DB03 ,  4K022DB04 ,  4K022DB19 ,  4K022DB24 ,  4K022DB28
引用特許：
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (11件)
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