TiO2薄膜及び色素増感太陽電池用作用電極の作製方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小倉亘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-339951
公開番号（公開出願番号）：特開2002-145615
出願日： 2000年11月08日
公開日（公表日）： 2002年05月22日
要約：

【要約】【目的】過酸化水素又はアルミニウムアセチルアセトナートを添加したTiO2前駆体原料溶液を用いたスプレー熱分解法により、比表面積の大きなTiO2薄膜を高い造膜効率で作製する。【構成】 TiO2前駆体溶液に過酸化水素又はアルミニウムアセチルアセトナートを添加して原料溶液を調製し、高温保持された基板に原料溶液を間歇噴霧することによりTiO2前駆体をTiO2に熱分解し、基板上に多孔質のTiO2薄膜を成長させる。色素増感太陽電池を作製する場合、TiO2薄膜の形成に先立って、スズ化合物及びフッ素化合物を含む原料溶液を高温保持されたガラス基板に間歇噴霧することによりフッ素ドープ酸化スズ薄膜をガラス基板上に形成する。

請求項（抜粋）：

TiO2前駆体を含む溶液に過酸化水素又はアルミニウムアセチルアセトナートを添加して原料溶液を調製し、高温保持された基板に原料溶液を間歇噴霧することによりTiO2前駆体をTiO2に熱分解し、基板上に多孔質のTiO2薄膜を成長させることを特徴とするTiO2薄膜の作製方法。

IPC (4件)：

C01G 23/04 , C03C 17/25 , H01L 31/04 , H01M 14/00

FI (4件)：

C01G 23/04 C , C03C 17/25 A , H01M 14/00 P , H01L 31/04 Z

Fターム (23件)：

4G047CA02 , 4G047CB01 , 4G047CB05 , 4G047CC03 , 4G047CD02 , 4G059AA01 , 4G059AC30 , 4G059EA02 , 4G059EA04 , 4G059EB06 , 5F051AA07 , 5F051AA11 , 5F051AA14 , 5F051BA14 , 5F051GA03 , 5H032AA06 , 5H032AS16 , 5H032BB02 , 5H032BB05 , 5H032BB07 , 5H032BB10 , 5H032CC11 , 5H032EE16

引用特許：

審査官引用 (4件)

酸化錫三元機能薄膜及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-225830 出願人：科学技術振興事業団
光高透過性酸化チタン光触媒およびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-147436 出願人：株式会社河合楽器製作所
酸化チタン薄膜の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-216082 出願人：株式会社荏原製作所

全件表示

引用文献：

審査官引用 (8件)

全件表示

前のページに戻る