特許
J-GLOBAL ID：200903056687325142

基板搬送装置

発明者：
ジョン,ジュン-モ

ジョン,ジュン-モ について

, 
リー,ジョン-スー

リー,ジョン-スー について


出願人/特許権者：
エスエフエイ エンジニアリング コーポレイション

エスエフエイ エンジニアリング コーポレイション について


代理人 (3件)： 伊東 忠彦 ,  大貫 進介 ,  伊東 忠重
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-012850
公開番号（公開出願番号）：特開2006-206324
出願日： 2006年01月20日
公開日（公表日）： 2006年08月10日
要約：
【課題】大面積の板状の基板を効率的に移動させる基板搬送装置を提供する。【解決手段】所定間隔に離間しt平行に配置され、基板の両側にふれた状態で回転しつつ基板を水平方向に移動させる一対の移動ローラ10と、該一対の移動ローラ10の間に配置され、上方に空気を噴射して基板を浮揚させる複数個の空気噴射モジュール20を備えてなり、該空気噴射モジュール20は、個別的に基板搬送装置1に着脱自在に且つ位置移動自在に設ける用に構成する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
上部に基板が置かれ、該置かれた基板を水平方向に移動させる基板搬送装置であって、 所定間隔に離間して平行に配置され、基板の両側部に触れた状態で回転しつつ基板を水平方向に移動させる一対の移動ローラーと、 前記一対の移動ローラーの間において所定間隔にそれぞれ配置され、上方に空気を噴射して基板を浮揚させる複数個の空気噴射モジュールとを備えてなり、 前記空気噴射モジュールは、個別的に前記基板搬送装置に着脱自在に且つ位置移動自在に設けられたことを特徴とする基板搬送装置。
IPC (2件)：
B65G 49/06 ,  H01L 21/677
FI (2件)：
B65G49/06 Z ,  H01L21/68 A
Fターム (5件)：
5F031CA05 ,  5F031GA53 ,  5F031GA62 ,  5F031NA02 ,  5F031NA03
引用特許：
審査官引用 (7件)
  • 板状部材の搬送装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-346785   出願人：第一施設工業株式会社
  • 浮上ユニット
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-092210   出願人：林武秀, 第一施設工業株式会社
  • 薄板状ワークの搬送方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-024648   出願人：株式会社オーク製作所
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