レーザマークを付けたウェーハ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小倉亘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-055994
公開番号（公開出願番号）：特開平10-256105
出願日： 1997年03月11日
公開日（公表日）： 1998年09月25日
要約：

【要約】【課題】ウェーハ本体に残留加工歪み,熱応力等の悪影響を与えることなく、結晶方位,スペック等が容易に判定できるマークを付けたウェーハを提供する。【解決手段】このウェーハ1は、鏡面仕上げされた周縁の面取り部2に結晶方位判定用のレーザマーク3が刻印されている。また、スペック,製品番号,ウェーハID等を表すレーザマーク4をバーコードとして面取り部2に刻印することもできる。

請求項（抜粋）：