静電トルカ型加速度計

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：草野卓 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-163611
公開番号（公開出願番号）：特開2002-357620
出願日： 2001年05月31日
公開日（公表日）： 2002年12月13日
要約：

【要約】【課題】使用目的対応測定範囲を設定する静電トルカ型加速度計を提供する。【解決手段】板状のペンデュラム1の上下両面に対応してピックオフ可動電極PD1、PD2を形成すると共にこれらピックオフ可動電極に間隙を有して対向するピックオフ固定電極PDS1、PDS2を形成し、更にトルカ可動電極TO1、TO2を形成すると共にこれらトルカ可動電極に間隙を有して対向するトルカ固定電極TOS1、TOS2を形成し、ピックオフ可動電極とピックオフ固定電極の間に形成される静電容量の差に基づいてペンデュラム1の変位に比例する検出信号を発生する静電トルカ型加速度計において、トルカ可動電極の双方にはペンデュラム1の変位に比例する検出信号を印加し、トルカ固定電極の双方には予め設定された供給電源電圧を印加する静電トルカ型加速度計。

請求項（抜粋）：

加速度により変位する板状のペンデュラムの上下両面に対応してピックオフ可動電極を形成すると共にこれらピックオフ可動電極に間隙を有して対向するピックオフ固定電極を形成し、ペンデュラムの上下両面に対応して更にトルカ可動電極を形成すると共にこれらトルカ可動電極に間隙を有して対向するトルカ固定電極を形成し、ピックオフ可動電極とピックオフ固定電極の間に形成される静電容量の差に基づいてペンデュラムの変位に比例する検出信号を発生する静電トルカ型加速度計において、トルカ可動電極の双方にはペンデュラムの変位に比例する検出信号を印加し、トルカ固定電極の双方には予め設定された供給電源電圧を印加して、ペンデュラムを中立位置に戻すフィードバックループを形成することを特徴とする静電トルカ型加速度計。

引用特許：

審査官引用 (6件)

静電トルカ型加速度計
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-183920 出願人：日本航空電子工業株式会社
容量検出回路
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-127821 出願人：三菱電機株式会社
静電トルカ式加速度計
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-140644 出願人：日本航空電子工業株式会社

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