特許
J-GLOBAL ID:200903056927376106
ゾル材料
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (1件):
朝日奈 宗太 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-043361
公開番号(公開出願番号):特開2000-290283
出願日: 2000年02月21日
公開日(公表日): 2000年10月17日
要約:
【要約】【課題】 室温で長期間安定して保存でき、かつ極めて短時間のゲル化および老化を経るだけでただちに各種間隙率の微孔性ゲルに転換することができ、しかも乾燥後も収縮やクラッキングを生じないような、微孔性誘電体膜を形成するためのゾル材料を提供することを課題とする。【解決手段】 2〜60重量部のシリコンアルコキシド、20〜98重量部のアルコール、0.5〜50重量部の水性媒体、0.0001〜10重量部の塩基、および0.001〜30重量部の1種類以上の添加剤と、さらに任意に添加される0.0001〜10重量部の酸を、加水分解および凝縮することにより得られるゾル材料である。
請求項(抜粋):
2〜60重量部のシリコンアルコキシド、20〜98重量部のアルコール、0.5〜50重量部の水性媒体、0001〜10重量部の塩基、および001〜30重量部の、R’nSi(OCH3)4-n、R’nSi(OC2H5)4-n、R’COOH、R(OH)m、およびR’nSiCl4-n(ここで、R’はH、フェニル基、炭素数が1〜20のアルキル基、アルケニル基、アミノ基、置換アミノ基、またはエステル基であり、Rはフェニル基、炭素数が1〜20のアルキル基、アルケニル基、アミノ基、置換アミノ基、またはエステル基であり、nは0〜3の整数で、mは1〜3の整数であるが、これらの化合物の構造は前記シリコンアルコキシド、前記アルコールおよび前記塩基とは異なる)よりなる群から選択される少なくとも1種類の添加剤を含有する出発原料を加水分解および凝縮することにより得られるゾル材料。
IPC (2件):
FI (2件):
引用特許:
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