特許
J-GLOBAL ID：200903056973490720
静電型アクチュエータ及びインクジェットヘッド
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
上柳 雅誉 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-095704
公開番号（公開出願番号）：特開2001-277506
出願日： 2000年03月30日
公開日（公表日）： 2001年10月09日
要約：
【要約】【課題】 一方の対向電極がITO膜からなる静電型のインクジェットヘッドにおいて、対向電極の貼り付きが発生しない耐久性のあるものとすること。【解決手段】 静電型のインクジェットヘッドにおける一方の電極はITO膜から形成されている。ITO電極の結晶構造のX線回折パターンに現れる(222)方位面および(400)方位面のピーク強度をそれぞれ(222)および(400)とし、当該ITO膜における(400)方位面の配向比f(400)を、[(400)/{(222)+(400)}]×100(%)と定義した場合に、当該配向比f(400)が40%から95%までの範囲内の値となるようにしている。かかる条件を満たすようにITO膜を形成すると、対向電極間の貼り付きが起きずに、耐久性のある静電型のインクジェットヘッドを実現できることが確認された。
請求項（抜粋）：
一定の間隔で対向配置された相対変位可能な第1および第2の電極部材と、これらの電極部材の間に静電気力を発生させて当該電極部材を相対変位させる駆動手段とを有し、前記第1の電極部材が基板表面に形成されたITO膜である静電型アクチュエータにおいて、前記ITO膜のX線回折パターンに現れる(222)方位面および(400)方位面のピーク強度をそれぞれ(222)および(400)とし、当該ITO膜における(400)方位面のピーク強度比f(400)を、[(400)/{(222)+(400)}]×100(%)と定義すると、当該ピーク強度比f(400)が40%から95%までの範囲内の値であることを特徴とする静電型アクチュエータ。
IPC (5件)：
B41J 2/045
, B41J 2/055
, B41J 2/16
, C23C 14/08
, G01N 23/207
C23C 14/08 D
, G01N 23/207
, B41J 3/04 103 A
, B41J 3/04 103 H
2C057AF65
, 2C057AG12
, 2C057AG54
, 2C057AP02
, 2C057AP11
, 2C057AP52
, 2C057AP60
, 2C057AP90
, 2C057BA04
, 2C057BA15
, 2G001AA01
, 2G001BA18
, 2G001CA01
, 2G001GA12
, 2G001HA01
, 2G001KA08
, 2G001MA05
, 2G001RA08
, 4K029AA09
, 4K029BA50
, 4K029BB07
, 4K029BC09
, 4K029BD03
, 4K029CA05
, 4K029DC05
, 4K029DC34
, 4K029DC39
, 4K029EA08
